[发明专利]外激式振动筒压力传感器性能测试方法

权利要求书

1.一种外激式振动筒压力传感器性能测试方法，具有如下技术征：在外激式振动筒压力传感器性能测试系统中，用一个振动筒压力传感器作为标准压力传感器，将作为被测件的被测受感器连接在标准压力传感器与标准放大器之间，组成一个电连接被测受感器测试电路的测试工装；用两体式弹簧探针与被测受感器上线圈插针进行接触连接，采用固定基座，移动两体式弹簧探针电连接测试电路与测试件，然后对被测受感器与标准压力传感器施加相同的工作压力，从0kPa开始，按每0.25kPa压力逐步递增至满量程，采用信号调理箱中PXI数据采集卡，采集标准压力传感器和被测受感器的输出频率和标准压力传感器的温度电压信号，将采集到的标准压力传感器和被测受感器的输出频率以及温度电压进行最小二乘法拟合，根据得出标准压力传感器的特征曲线和被测受感器的特征曲线创建特征公式及其系统测试软件，将被测受感器与标准压力传感器每个压力测试点下的输出频率和温度电压代入各自的特征公式，由所述系统测试软件计算出每个压力点下各自的实际误差，再对被测受感器与标准压力传感器每个压力点下的实际误差进行比较，比较所有测试点内误差，得出被测受感器与标准压力传感器的误差差值，采用比较法，以判读出最大误差差值是否≤100ppm的输出精度作为被测受感器的合格标准，测试出被测受感器常温输出的精度。

2.如权利要求1所述的外激式振动筒压力传感器性能测试方法，其特征在于，用最小二乘法进行拟合得出标准压力传感器的特征系数和特征曲线，并据此创建特征公式：

P＝（K00＋K01*X＋K02*X**2＋K03*X**3＋K04*X**4）

＋（K10＋K11*X＋K12*X**2＋K13*X**3＋K14*X**4）*Y

＋（K20＋K21*X＋K22*X**2＋K23*X**3＋K24*X**4）*Y**2

＋（K30＋K31*X＋K32*X**2＋K33*X**3＋K34*X**4）*Y**3

式中：P为压力值，K00～K34为特征系数，X为振动筒压力传感器温度电压值，Y为振动筒压力传感器输出频率。

3.如权利要求1所述的外激式振动筒压力传感器性能测试方法，其特征在于，PXI控制器将每个压力测试点下被测受感器与标准压力传感器的输出频率和温度电压代入各自的特征公式P，计算出每个压力点下各自的实际误差。

4.如权利要求1所述的外激式振动筒压力传感器性能测试方法，其特征在于，PXI控制器基于Microsoft Visual Studio 2005微软公司的开发工具包开发平台运用C#开发语言及其图形化编程语法G编写程序，采用数据流模型，以可视化的布局编写功能代码编制具备标准压力传感器的特征公式输入、数据采集、数据拟合、结果判定，LabVIEW开发的系统测试软件。

5.一种使用权利要求1所述外激式振动筒压力传感器性能测试方法的性能测试系统，包括：集成在PXI机箱内，电连接显示器的PXI机箱，通过数据PXI总线连接的PXI控制器、PXI串口通信模块、PXI频率/周期测量模块、PXI采集模块和PXI电源模块，其特征在于，PXI串口通信模块电连接压力控制器，压力控制器连接真空泵、储气瓶，通过气路相连测试工装，通过信号调理盒分别电连接于PXI频率/周期测量模块、PXI采集模块和PXI电源模块传输数据。

6.如权利要求5所述的外激式振动筒压力传感器性能测试系统，其特征在于：真空泵通过压力控制器与PXI串口通信模块进行通信，同步控制设置在测试工装内的标准压力传感器、标准放大器和被测受感器的压力。