[发明专利]COA基板的制作方法、COA基板及液晶显示面板

权利要求书

1.一种COA基板的制作方法，其特征在于，包括：

在第一衬底基板上形成薄膜晶体管层；

在所述薄膜晶体管层的远离所述第一衬底基板的一侧形成第一钝化层，所述第一钝化层形成连通所述薄膜晶体管层的第一过孔；

在所述第一钝化层的远离所述薄膜晶体管层的一侧形成彩色滤光层，所述彩色滤光层具有彼此间隔设置的色阻块和设置在相邻的所述色阻块之间的遮光块，通过不同颜色的色阻层层叠形成所述遮光块，所述彩色滤光层形成连通所述第一过孔的第二过孔；

通过一次曝光在所述彩色滤光层的远离所述第一钝化层的一侧形成一体化的第二钝化层和隔垫物，所述隔垫物位于所述第二钝化层的远离所述彩色滤光层的一侧，所述第二钝化层形成连通所述第二过孔的第三过孔；以及

在所述第二钝化层的远离所述彩色滤光层的一侧形成像素电极层，所述像素电极层通过所述第三过孔、所述第二过孔以及所述第一过孔连接至所述薄膜晶体管层。

2.如权利要求1所述的COA基板的制作方法，其特征在于，所述第一钝化层的远离所述薄膜晶体管层的一侧形成多个透光区和遮光区，所述多个透光区包括轮流间隔排布的第一透光区、第二透光区以及第三透光区，所述遮光区设于相邻的所述透光区之间；

通过一次曝光在所述第一透光区形成第一色阻块并在所述遮光区形成第一色阻层；

在所述第二透光区形成第二色阻块；

通过一次曝光在所述第三透光区形成第三色阻块并在所述遮光区形成第三色阻层，所述第一色阻层与所述第三色阻层层叠形成所述遮光块，所述第一色阻块、所述第二色阻块以及所述第三色阻块共同组成所述色阻块。

3.如权利要求2所述的COA基板的制作方法，其特征在于，通过半色调光罩一次曝光第一色阻膜层，以形成所述第一色阻块和所述第一色阻层。

4.如权利要求3所述的COA基板的制作方法，其特征在于，所述半色调光罩包括图案化的不透光区、半透光区和透光区，所述透光区用于形成所述第一色阻块，所述半透光区用于形成所述第一色阻层。

5.如权利要求1所述的COA基板的制作方法，其特征在于，通过多段式调整光罩一次曝光光阻层，以形成所述第二钝化层和所述隔垫物。

6.如权利要求5所述的COA基板的制作方法，其特征在于，所述多段式调整光罩包括图案化的第一区域、第二区域、第三区域以及第四区域，所述第一区域不透光，所述第二区域的透光比例为30％至50％，所述第三区域的透光比例为50％至80％，所述第四区域完全透光。

7.如权利要求1所述的COA基板的制作方法，其特征在于，所述“在第一衬底基板上形成薄膜晶体管层”的步骤包括：

在所述第一衬底基板上形成栅极层；

在所述栅极层的远离所述第一衬底基板的一侧形成栅极绝缘层；

在所述栅极绝缘层的远离所述栅极层的一侧形成半导体层；以及

在所述栅极绝缘层的远离所述栅极层的一侧形成源极和漏极，所述源极和所述漏极分别连接至所述半导体层的两端，以形成所述薄膜晶体管层。

8.一种COA基板，其特征在于，包括：

第一衬底基板；

薄膜晶体管层，设于第一衬底基板上；

第一钝化层，位于所述薄膜晶体管层的远离所述第一衬底基板的一侧，所述第一钝化层设有连通所述薄膜晶体管层的第一过孔；

彩色滤光层，位于所述第一钝化层的远离所述薄膜晶体管的一侧，所述彩色滤光层具有彼此间隔设置的色阻块和设置在相邻的所述色阻块之间的遮光块，通过不同颜色的色阻层层叠形成所述遮光块，所述彩色滤光层设有连通所述第一过孔的第二过孔；

一体成型的第二钝化层和隔垫物，位于所述彩色滤光层的远离所述第一钝化层的一侧，所述隔垫物位于所述第二钝化层的远离所述彩色滤光层的一侧，所述第二钝化层设有连通所述第二过孔的第三过孔；以及

像素电极层，位于所述第二钝化层的远离所述彩色滤光层的一侧，所述像素电极层通过所述第三过孔、所述第二过孔以及所述第一过孔连接至所述薄膜晶体管层。