[发明专利]负感光型树脂组合物及由其制造的光固化图案有效
申请号: | 201611165871.4 | 申请日: | 2016-12-16 |
公开(公告)号: | CN107203096B | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 全吉敏;安菩恩;赵庸桓 | 申请(专利权)人: | 东友精细化工有限公司 |
主分类号: | G03F7/038 | 分类号: | G03F7/038 |
代理公司: | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人: | 石宝忠 |
地址: | 韩国全*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光 树脂 组合 制造 光固化 图案 | ||
本发明提供负感光型树脂组合物及由其制造的绝缘膜。使用本发明涉及的负感光型树脂组合物制造的图案的耐化学性和铅笔硬度优异,耐久性优异,透射率也优异,因此能够有用地用于光固化图案的制造和具有由其制造的光固化图案的图像显示装置。
技术领域
本发明涉及负感光型树脂组合物及由其制造的光固化图案。
背景技术
在显示器领域中,为了形成光致抗蚀剂、绝缘膜、保护膜、黑矩阵、柱状间隔物等各种光固化图案而使用感光型树脂组合物。具体地,采用光刻工序对感光型树脂组合物选择性地曝光和显影,形成所期望的光固化图案,但在该过程中,为了提高工序上的收率,提高应用对象的物性,需要高感度的感光型树脂组合物。
感光型树脂组合物的图案形成通过光刻、即由光反应引起的高分子的极性变化和交联反应而进行。特别地,利用曝光后的对于碱水溶液等溶剂的溶解性的变化特性。
采用感光型树脂组合物的图案形成根据感光的部分对于显影的溶解度,分类为正型和负型。就正型光致抗蚀剂而言,是通过曝光的部分被显影液溶解而形成图案的方式,就负型光致抗蚀剂而言,是通过曝光的部分没有在显影液中溶解、将未曝光的部分溶解而形成图案的方式。正型和负型在使用的粘结剂树脂、交联剂等上彼此不同。
近年来,具有触摸面板的触摸屏的使用急剧地增加,最近,柔性的触摸屏受到大幅的关注。由此,对于在触摸屏中使用的各种基板等的原材料要求具有柔性的特性。因此,可使用的原材料限于柔性的高分子原材料,制造工序也要求在更为温和的条件下进行。
由此,就感光型树脂组合物的固化条件而言,也必须使其成为并非以往的高温固化的低温固化。但是,低温固化存在反应性的降低和形成的图案的耐久性的降低的问题。
韩国专利第1302508号(专利文献1)公开了通过包含使用丙烯酸环己烯酯系的单体聚合的共聚物从而耐热性和耐光性优异、能够提高感度的负感光型树脂组合物。但是,该组合物在低温固化的条件下尚未满足所要求的耐久性。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:韩国专利第1302508号
发明内容
发明要解决的课题
本发明的目的在于提供尽管可在低温下固化但反应性优异、并且与金属基板的密合性和形成的图案的耐化学性等耐久性优异的负感光型树脂组合物。
用于解决课题的手段
1.负感光型树脂组合物,该负感光型树脂组合物包含(A)碱可溶性树脂、(B)聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、(D)添加剂、和(E)溶剂,其中,上述(D)添加剂包含由下述化学式1表示的化合物。
[化学式1]
[上述化学式1中,上述R1和R2各自独立地为氢或者C1-C6的直链或侧链的烷基,
上述m表示主链内的重复单元,
上述m为4~12的整数。]
2.上述项目1的负感光型树脂组合物,其中,上述化学式1的化合物中的R1和R2各自独立地为氢。
3.上述项目1的负感光型树脂组合物,其中,相对于组合物的总重量,含有0.1~5重量%的上述化学式1的化合物。
4.上述项目1的负感光型树脂组合物,其中,上述(A)碱可溶性树脂包含具有由下述化学式2表示的重复单元的第1树脂、和具有由下述化学式3表示的重复单元的第2树脂。
[化学式2]
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