[发明专利]使用分析或统计建模来进行连续过程验证的方法和装置

权利要求书

1.一种用于使用建模来进行连续过程验证的方法，包括：

基于在第一时间制造第一批次时所测量的第一历史批次数据集来确定多个参数的分布特性；

基于所述多个参数的所述分布特性来生成模型批次；

针对第一组仿真批次中的每一个仿真批次，通过执行以下操作来生成对应于所述第一组仿真批次的第一组仿真批次数据集：

基于所述模型批次来生成所述多个参数的值；以及

基于所生成的值来确定质量预测；以及

基于所述第一组仿真批次数据集和所述第一历史批次数据集来生成模型，所述模型将被实现以监测后续对第二批次的制造。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，针对所述第一组仿真批次中的每一个仿真批次，所述多个参数的值是通过随机计算或伪随机计算来生成的。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述仿真批次的量由总批次的阈值量和历史批次的量来确定。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述第一时间之后的第二时间进行的所述第二批次的制造之后，执行以下操作：

基于所述第一历史批次数据集和第二历史批次数据集来确定所述多个参数的所述分布特性，所述第二历史批次数据集包括在制造所述第二批次时所测量的所述多个参数；

基于所述多个参数的所述分布特性来生成所述模型批次；

基于所述分布特性来生成第二组仿真批次数据集；以及

基于所述第二组仿真批次数据集、所述第一历史批次数据集和所述第二历史批次数据集来生成所述模型。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述模型批次包括基于所述分布特性的所述多个参数的特性化。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，基于所生成的值来确定所述质量预测进一步包括基于与所述第一历史批次数据集包括在一起的质量测量结果来生成质量模型。

7.一种用于使用建模来进行连续过程验证的装置，包括：

参数分析器，其用于：

基于包括在第一时间制造第一批次时所测量的多个参数的第一历史批次数据集来确定所述多个参数的分布特性；以及

基于所确定的所述多个参数的分布特性来生成模型批次；

参数生成器，其用于：针对第一组仿真批次中的每一个仿真批次，基于所述模型批次来生成所述多个参数的值，所生成的值将包括在第一组仿真批次数据集中；以及

质量预测器，其用于：针对所述第一组仿真批次中的每一个仿真批次，基于所生成的值来确定质量预测，所述质量预测将包括在所述第一组仿真批次数据集中；以及

批次分析器，其用于：基于所述第一组仿真批次数据集和所述第一历史批次数据集来生成模型，所述模型将被实现以监测后续对第二批次的制造。

8.根据权利要求7所述的装置，其中，针对所述第一组仿真批次中的每一个仿真批次，所述多个参数的值是通过随机计算或伪随机计算来生成的。

9.根据权利要求7所述的装置，其中，所述仿真批次的量由总批次的阈值量和历史批次的量确定。

10.根据权利要求7所述的装置，其中，在所述第一时间之后的第二时间进行的所述第二批次的制造之后：

所述参数分析器用于执行以下操作：

基于所述第一历史批次数据集和第二历史批次数据集来确定所述多个参数的所述分布特性，所述第二历史批次数据集包括在制造所述第二批次时所测量的所述多个参数；以及

基于所述多个参数的所述分布特性来生成所述模型批次；

所述参数生成器基于所述模型批次来生成第二组仿真批次数据集；以及

所述批次分析器基于所述第二组仿真批次数据集、所述第一历史批次数据集和所述第二历史批次数据集来生成所述模型。

11.根据权利要求7所述的装置，其中，所述模型批次包括基于所述分布特性的所述多个参数的特性化。