[发明专利]阵列基板、包括其的数字X射线检测器及其制造方法

说明书

提供了一种阵列基板、包括其的数字X射线检测器及其制造方法。更具体地，提供了下述X射线检测器的阵列基板：由于阵列基板包括沿第一方向延伸的第一线、沿第一方向延伸并且与第一线间隔开的第二线、以及设置在第一线与第二线之间的多个线标识，包括其的数字X射线检测器、用于制造X射线检测器的阵列基板的方法以及用于制造X射线检测器的方法。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2015年12月31日在韩国提交的韩国专利申请第10-2015-0191940号的优先权，其全部内容通过引用并入本文。

技术领域

本公开涉及使用薄膜晶体管的数字X射线检测器，更具体地，涉及X射线检测器的阵列基板、包括阵列基板的数字X射线检测器、用于制造X射线检测器的阵列基板的方法、以及用于制造X射线检测器的方法。尽管本公开适用于宽范围的应用，但是本公开特别适合于在X射线检测器的薄膜晶体管阵列基板中以高准确度来跟踪有缺陷的线。

背景技术

在当前已经用于医疗目的诊断X射线检验方法中，X射线感测胶片用于拍摄X射线，并且要花费预定打印时间来获得其结果。

然而，随着半导体技术的最新发展，已经研究并开发了使用薄膜晶体管的数字X射线检测器。数字X射线检测器使用薄膜晶体管作为开关元件，因此使得用户能够在照射X射线时实时地进行诊断。

通常，数字X射线检测器分为两种类型，即直接型DXD和间接型DXD。直接型DXD包括层压在薄膜晶体管阵列基板的上层上的非晶硒(Se)层以及形成在非晶Se层上的透明电极，并且检测在薄膜晶体管的像素电极从Se层接收电荷时的电流，然后执行信号处理。间接型DXD包括闪烁体，并且如果X射线通过闪烁体转换成可见光，则可见光通过PIN二极管转换成电信号，然后执行一系列信号处理。

同时，在常规X射线检测器中，用于对阵列基板执行曝光工艺的掩模很小。因此，为了制造大尺寸的面板，使用了通过将掩模在基础基板上移位多次来执行曝光的拼接(stitch shot)曝光方法。

通常，如果在信号线中发生缺陷如开路或短路，则阵列基板上的多条线与用于各条线的标识一起被图案化，以便使用检测器在阵列基板上找到有缺陷的信号线。

然而，在拼接曝光方法的情况下，通过将相同的掩模移位几次来执行曝光工艺。因此，在一个基础基板上相同的标识被重复地图案化。图1是通过常规拼接曝光方法在其上形成标识的阵列基板的照片，这将参照图1来说明。

图1中使用的掩模包括第1个至第256个标识。因此，第257条线(通过在图1的照片中第二次移位掩模而曝光的线)变为第一个标识，与第一个标识相同。因此，存在包括相同标识的多于一条的信号线，因此，不可能准确地找出有缺陷的信号线的位置。因此，需要一种解决方案。

发明内容

因此，本公开涉及X射线检测器的阵列基板、用于制造X射线检测器的阵列基板的方法、包括阵列基板的数字X射线检测器、以及用于制造X射线检测器的制造方法，其基本上消除了由于现有技术的限制和缺点而导致的一个或多个问题。

本公开要实现的一个目的是提供一种能够以高准确度跟踪有缺陷的线的X射线检测器的阵列基板。

本公开要实现的另一个目的是提供一种能够抑制缺陷泄漏并改进收率的X射线检测器的阵列基板。

本公开要实现的再一个目的是提供一种包括上述阵列基板的X射线检测器。

根据本公开的一个方面，提供有一种X射线检测器的阵列基板，包括:沿第一方向延伸的第一线；沿第一方向延伸并且与第一线间隔开的第二线；以及布置在第一线与第二线之间的多个线标识。