[实用新型]一种承载盘旋转控制装置有效
| 申请号： | 201620818430.9 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN206133268U | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 邓耀华;董杰;吴黎明 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 杨炳财,屈慧丽 |
| 地址： | 510062 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 承载 盘旋 控制 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种承载盘旋转控制装置，其特征在于，包括：承载盘转速控制模块、反应腔体气体控制模块、伺服电机和气动阀，所述承载盘转速控制模块分别与所述反应腔体气体控制模块和所述伺服电机通信连接，所述反应腔体气体控制模块和所述气动阀通信连接。
2.根据权利要求1所述的承载盘旋转控制装置，其特征在于，所述承载盘转速控制模块具体包括PLC控制器单元、伺服电机驱动单元、承载盘转速测量单元；
所述PLC控制器单元的输出端分别与所述伺服电机驱动单元输入端、所述反应腔体气体控制模块连接；
所述伺服电机驱动单元的输出端与所述伺服电机的输入端通信连接；
所述承载盘转速测量单元的输入端与所述伺服电机的光电编码器的输出端通信连接；
所述承载盘转速测量单元的输出端与所述PLC控制器单元的输入端通信连接。
3.根据权利要求1所述的承载盘旋转控制装置，其特征在于，所述反应腔体气体流量控制模块包括进气流量控制单元、出气流量控制单元；
所述进气流量控制单元与所述承载盘转速控制模块通信连接；
所述出气流量控制单元与所述承载盘转速控制模块通信连接。
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