[实用新型]一种基于等离子体梯度修饰的微悬臂梁阵列偏转检测系统有效
申请号: | 201621062995.5 | 申请日: | 2016-09-19 |
公开(公告)号: | CN206114535U | 公开(公告)日: | 2017-04-19 |
发明(设计)人: | 滕艳华;牛晓燕;庞帅;杨蕊华;薛长国;陈兆权;胡业林 | 申请(专利权)人: | 安徽理工大学 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 232001 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 等离子体 梯度 修饰 悬臂梁 阵列 偏转 检测 系统 | ||
【说明书】:
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