[发明专利]用于无标识高内涵药物筛选的微流控芯片及其制作方法

权利要求书

1.用于无标识高内涵药物筛选的微流控芯片，所述微流控芯片上设有检测池（1）和多条微流道（2），所述多条微流道（2）均与所述检测池（1）相连通，且多条微流道（2）之间彼此不相连通，其特征在于：所述检测池（1）内设有多个结构单元（3），所述多个结构单元（3）组成阵列型结构，所述结构单元（3）包括：至少两个用于定位细胞的定位电极（31）和至少一对用于生长纳米枝晶结构的生长电极（32）。

2.根据权利要求1所述的用于无标识高内涵药物筛选的微流控芯片，其特征在于：所述结构单元（3）为三圆环形状，三个圆环为直径各不相同的同心圆环，在内圆环上设有至少两个尖端电极；在中圆环上设有至少两个圆形电极，以上述圆形电极为等分点，中圆环被均分为多等份，每一圆形电极上均设有尖端部；在外圆环上设有多个尖端电极，外圆环上的尖端电极与中圆环上的圆形电极一一对应；所述内圆环上的尖端电极两两之间形成一对生长电极（32），所述外圆环上的尖端电极与对应的中圆环上的圆形电极的尖端部形成一对生长电极（32），所述圆形电极的非尖端部均为定位电极（31）。

3.根据权利要求1所述的用于无标识高内涵药物筛选的微流控芯片，其特征在于：所述结构单元（3）为双圆环结构，两个圆环为直径各不相同的同心圆环，在内圆环上设有至少两个尖端电极，在外圆环上设有至少两个圆形电极，以上述圆形电极为等分点，外圆环被均分为多等份，所述内圆环上的尖端电极两两之间形成一对生长电极（32），所述圆形电极均为定位电极（31）。

4.根据权利要求1所述的用于无标识高内涵药物筛选的微流控芯片，其特征在于：所述结构单元（3）为双圆环结构，两个圆环为直径各不相同的同心圆环，在内圆环上设有至少两个圆形电极，以上述圆形电极为等分点，外圆环被均分为多等份，每一圆形电极上均设有尖端部，在外圆环上设有多个尖端电极，外圆环上的尖端电极与内圆环上的圆形电极一一对应；所述外圆环上的尖端电极与对应的内圆环上的圆形电极的尖端部形成一对生长电极（32），所述圆形电极的非尖端部均为定位电极（31）。

5.根据权利要求1所述的用于无标识高内涵药物筛选的微流控芯片，其特征在于：所述微流控芯片包括：依次键合在一起的基底（4）、基片（5）和透明盖片（6），所述结构单元（3）设置于所述基底（4）上，所述检测池（1）和多条微流道（2）均设置于所述基片（5）上，且所述检测池（1）的顶盖为所述透明盖片（6），所述透明盖片（6）上设有多个溶液出入口（7），所述多个溶液出入口（7）与所述多条微流道（2）一一对应连通。

6.根据权利要求1所述的用于无标识高内涵药物筛选的微流控芯片，其特征在于：所述的多条微流道（2）包括：细胞液微流道、培养基微流道、药物微流道、镀液微流道、去离子水微流道和废液微流道，上述微流道（2）内均设有单向导通阀。

7.如权利要求1至6中任一所述的用于无标识高内涵药物筛选的微流控芯片的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：

S10、利用MEMS工艺，在基底（4）上制作包括定位电极（31）和生长电极（32）的阵列式结构单元（3），在基片（5）上制作检测池（1）和多条微流道（2），在透明盖片（6）上制作多个溶液出入口（7），将基底（4）、基片（5）和透明盖片（6）依次键合在一起；

S20、将含有贵金属的电解液通过透明盖片（6）上的一个溶液出入口（7），流经微流道（2），通入检测池（1）中；

S30、在每一对生长电极（32）之间通交流电，以在每一对生长电极（32）距离最近的尖端上生长形成贵金属的纳米枝晶结构；

S40、贵金属纳米枝晶结构形成后，向检测池（1）内通入去离子水，以冲洗检测池（1）和微流道（2）。