[发明专利]检查夹具、检查装置及检查方法

说明书

提供一种检查夹具、检查装置以及检查方法，在电路基板的非接触式检查中，能够抑制检查值的精度的下降和重复稳定性的降低。检查夹具(100)夹持电路基板(FX1)，该电路基板在基体(SB)上设有被检查电极(EL)，在基体的设有被检查电极的面上层叠有绝缘性的保护部件(CL1)，检查夹具(100)具有：第一夹持部(110)，其具有第一夹持面(113)；第二夹持部(120)，其具有与第一夹持面对置配置的第二夹持面(124)，在第二夹持面上设有检测电极(122)；电极间距离调整部(112)，其在第一夹持部和第二夹持部以被检查电极与检测电极对置的方式夹持电路基板时，对检测电极与被检查电极之间的距离进行调整，以使检测电极紧贴于保护部件。

技术领域

本发明涉及检查夹具、检查装置及检查方法。

背景技术

在如柔性基板那样，在表面设有绝缘性保护部件(例如，覆盖层)的电路基板中，不能使探头与被检查电极接触而进行通电检查。因此，一直以来进行的是非接触式检查。

在非接触式检查中，首先，使被检查电极与传感器电极对置，以被检查电极与传感器电极形成电容器的方式进行配置。接着，使探头接触经由配线与被检查电极电连接的输入电极，向输入电极输入电信号。其结果是，与电信号对应地被在检查电极上积聚有电荷，传感器电极的电位发生变化。因此，通过对传感器电极的电位的时间变化进行测定，来检查有无断路。

作为使传感器电极的电位测定容易的试验装置，具有增大被检查电极与传感器电极之间的静电容量来进行测定的装置(例如，参照专利文献1)。非接触式检查是利用包括一对夹持部的检查夹具来夹持电路基板而进行的。在一方的夹持部上设有传感器电极。首先，以被检查电极与传感器电极对置的方式配置电路基板。然后，利用设有传感器电极的一方的夹持部和与其对置的另一方的夹持部来夹持电路基板。在夹持电路基板时，被检查电极与传感器电极的距离变小，且两电极之间被绝缘性保护部件填充。平板电容器的静电容量与对置的两电极间的距离成反比、与两电极间的介电常数及平行板电极的面积成正比，因此被检查电极与传感器电极之间的静电容量变大。其结果是，传感器电极的电位测定变得容易。

专利文献1：(日本)特开平8-327708号公报

由于电路基板的层结构、材料或制造上的偏差，电路基板会在厚度方向上具有凹凸。另外，虽然将一对夹持部制造为各自的夹持面彼此平行且各自的夹持面尽可能平坦，但仍然无法完全除去夹持面的凹凸。因此，取决于制造批次和电路基板内的位置，在利用检查夹具夹持电路基板时，由于电路基板的凹凸和夹持面的凹凸，在被检查电极与传感器电极之间形成空气层。其结果是，两电极间的介电常数变低，静电容量变小。另外，由于保护部件的凹凸、夹持面的凹凸，夹持保护部件的两电极之间的距离变得不稳定，静电容量也变得不稳定。由于这样的原因，产生检查值的精度下降、重复稳定性降低的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种检查夹具、检查装置及检查方法，在电路基板的非接触式检查中，能够抑制检查值的精度的下降和重复稳定性的降低。

本发明一形态的检查夹具夹持电路基板，该电路基板在基体上设有被检查电极，在所述基体的设有所述被检查电极的面上层叠有绝缘性的保护部件，该检查夹具的特征在于，包括：第一夹持部，其具有第一夹持面；第二夹持部，其具有与所述第一夹持面对置配置的第二夹持面，在所述第二夹持面上设有检测电极；在所述第一夹持部和所述第二夹持部中的至少一方设有电极间距离调整部，所述电极间距离调整部在所述第一夹持部和所述第二夹持部以所述被检查电极与所述检测电极对置的方式夹持所述电路基板时，对所述检测电极与所述被检查电极的距离进行调整，以使所述检测电极紧贴于所述保护部件。

在本发明一形态的检查夹具中，所述电极间距离调整部可以包括以与所述第二夹持面对置的方式设置于所述第一夹持部的弹性部件。

在本发明一形态的检查夹具中，所述弹性部件可以利用多个不同的材料形成。