[发明专利]有机EL显示装置和有机EL显示装置的制造方法有效
申请号: | 201710198483.4 | 申请日: | 2017-03-29 |
公开(公告)号: | CN107275409B | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 丸山哲 | 申请(专利权)人: | 株式会社日本显示器 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L21/336;H01L21/266;H01L27/32 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 陈伟;王娟娟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 el 显示装置 制造 方法 | ||
1.一种有机EL显示装置,具有多个像素,在各所述像素中具有对流过有机EL元件的电流进行控制的晶体管,
所述有机EL显示装置的特征在于,
所述晶体管具有:
漏电极和源电极,所述漏电极和源电极中的一方与所述有机EL元件电连接,另一方被从所述有机EL显示装置的外部供给电源;
形成在所述源电极和所述漏电极之间的第1栅电极;和
形成在所述第1栅电极的下层侧的半导体膜,
所述半导体膜的、所述第1栅电极与所述漏电极或所述源电极之间的区域中的一方的第1区域被以高浓度注入n型离子,另一方的第2区域被以低浓度注入n型离子,
所述晶体管在所述第1栅电极之上隔着绝缘层具备第2栅电极,该第2栅电极具有在俯视时与所述第1栅电极和所述第2区域的至少一部分重合的区域,
所述第2栅电极设置成:具有与所述第1区域和所述第2区域中的、所述第2区域在俯视时重合的区域,不具有与所述第1区域和所述第2区域中的、所述第1区域重合的区域。
2.如权利要求1所述的有机EL显示装置,其特征在于:
所述第1区域在该第1区域的整个区域中被以高浓度注入n型离子,所述第2区域在该第2区域的整个区域中被以低浓度注入n型离子。
3.一种有机EL显示装置的制造方法,所述有机EL显示装置具有多个像素,在各所述像素中具有对流过有机EL元件的电流进行控制的晶体管,
所述有机EL显示装置的制造方法的特征在于,包括:
形成包含于所述晶体管的半导体膜的步骤;
在所述半导体膜的上层侧,在所述半导体膜的中央部形成第1栅电极的步骤;
以所述第1栅电极为掩模,对所述半导体膜注入n型离子的步骤;
以覆盖所述半导体膜和所述第1栅电极的方式形成绝缘膜的步骤;
在所述绝缘膜的上层侧,以仅与所述半导体膜中的、所述第1栅电极与漏电极侧或源电极之间的区域中的一方重合的方式形成第2栅电极的步骤;和
以所述第2栅电极为掩模,对所述半导体膜注入n型离子的步骤,
其中,所述半导体膜的、所述第1栅电极与所述漏电极或所述源电极之间的区域中的一方的第1区域被以高浓度注入n型离子,另一方的第2区域被以低浓度注入n型离子,
所述晶体管在所述第1栅电极之上隔着绝缘层具备第2栅电极,该第2栅电极具有在俯视时与所述第1栅电极和所述第2区域的至少一部分重合的区域,
所述第2栅电极设置成:具有与所述第1区域和所述第2区域中的、所述第2区域在俯视时重合的区域,不具有与所述第1区域和所述第2区域中的、所述第1区域重合的区域。
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