[发明专利]一种氧氮混合高精度配比装置及方法

权利要求书

1.一种氧氮混合高精度配比装置，其特征在于：包括氧气瓶（1）、氮气瓶（2）、氧气质量流量控制器（3）、氮气质量流量控制器（4）和配比仓（5）；

在工作状态下，所述氧气瓶（1）输出氧气，经过所述氧气质量流量控制器（3）调整流量后，氧气输送到所述配比仓（5）内，同时，所述氮气瓶（2）输出氮气，经过所述氮气质量流量控制器（4）调整流量后，氮气输送到所述配比仓（5）内，氧气和氮气经所述配比仓（5）混合配比后输出；

所述配比仓（5）包括一个圆柱形封闭管，仅设置有输入口和输出口，分别供氧气和氮气输入及混合配比后的气体输出，内置一段圆柱形网，长度为200-240mm，直径为28-36mm，网眼直径为0.03-0.12mm。

2.根据权利要求1所述的氧氮混合高精度配比装置，其特征在于： 所述圆柱形网长度为235mm，直径为30mm，网眼直径为0.1mm。

3.根据权利要求1或2所述的氧氮混合高精度配比装置，其特征在于：所述氮气质量流量控制器（3）和所述氧气质量流量控制器（4）量程均为500 ml。

4.根据权利要求3所述的氧氮混合高精度配比装置，其特征在于：所述氧气瓶（1）和所述氧气质量流量控制器（3）之间还装配有氧气稳压阀（6），所述氮气瓶（2）和所述氮气质量流量控制器（4）之间还装配有氮气稳压阀（7）。

5.根据权利要求4所述的氧氮混合高精度配比装置，其特征在于：所述氧气瓶（1）和所述氧气质量流量控制器（3）之间还装配有氧气稳流阀（8），所述氮气瓶（2）和所述氮气质量流量控制器（4）之间还装配有氮气稳流阀（9）。

6.根据权利要求5所述的氧氮混合高精度配比装置，其特征在于：所述氧气瓶（1）和所述氧气质量流量控制器（3）之间还装配有氧气气阻（10），所述氮气瓶（2）和所述氮气质量流量控制器（4）之间还装配有氮气气阻（11）。

7.根据权利要求6所述的氧氮混合高精度配比装置，其特征在于：所述氧气瓶（1）和氮气瓶（2）均为高压气瓶，所述氧气瓶（1）和所述氧气质量流量控制器（3）之间还装配有氧气减压阀（12），所述氮气瓶（2）和所述氮气质量流量控制器（4）之间还装配有氮气减压阀（13）。

8.一种氧氮混合高精度配比方法，其特征在于：采用权利要求1-7任一所述的氧氮混合高精度配比装置进行配比，步骤包括：

（a）根据供气流量和实验所需氧浓度，计算出实验所需氧气与氮气的流量；

（b）根据氧气与氮气的流量，结合所述氧气质量流量控制器（3）和所述氮气质量流量控制器（4）的量程，分别计算氧气和氮气的控制比例，控制所述氧气质量流量控制器（3）的氧气输出流量和所述氮气质量流量控制器（4）的氮气输出流量；

（c）分别将所述氧气质量流量控制器（3）与所述氮气质量流量控制器（4）调零，然后开启所述氧气瓶（1）和所述氮气瓶（2），输出气体；

（d）将氧气和氮气经过所述配比仓（5）进行混合配比，然后输出。

9.根据权利要求8所述的氧氮混合高精度配比方法，其特征在于：所述氧气瓶（1）内氧气和所述氮气瓶（2）内氮气纯度均为99.999%，所述实验所需的氧浓度大于3%，小于等于21%。