[发明专利]测量设备、压印装置和制造产品、光量确定及调整的方法

权利要求书

1.一种测量设备，其特征在于，包括：

照明单元，用于发射包括具有第一波长的照明光和具有第二波长的照明光的光，并且被配置成照明设置在第一构件上的第一对准标记和设置在第二构件上的第二对准标记，并且照明设置在第一构件上的第三对准标记和设置在第二构件上的第四对准标记；

检测单元，被配置成检测来自第一对准标记和第二对准标记的光以及来自第三对准标记和第四对准标记的光；

处理单元，被配置成基于来自第一对准标记和第二对准标记的检测光来获得第一对准标记和第二对准标记之间的第一相对位置，以及基于来自第三对准标记和第四对准标记的检测光来获得第三对准标记和第四对准标记之间的第二相对位置；以及

调整单元，被配置成调整具有第一波长的光的光量与具有第二波长的光的光量，使得由检测单元检测的来自第一对准标记和第二对准标记的光的检测光量与由检测单元检测的来自第三对准标记和第四对准标记的光的检测光量之间的相对值落在预定范围内。

2.根据权利要求1所述的测量设备，

其中，所述调整单元包括：改变单元，被配置成改变第一光源和第二光源的输出能量，所述第一光源被配置成发射具有第一波长的照明光，所述第二光源被配置成发射具有第二波长的照明光；以及

其中，所述调整单元被配置成控制所述改变单元以调整从第一光源发射的具有第一波长的照明光的光量与从第二光源发射的具有第二波长的照明光的光量之间的相对量。

3.根据权利要求1所述的测量设备，其中，所述调整单元被配置成调整具有第一波长的光的光量与具有第二波长的光的光量，使得由检测单元检测的来自第三对准标记的光的检测光量和来自第四对准标记的光的检测光量之间的相对值落在预定范围内。

4.根据权利要求1所述的测量设备，

其中，所述检测单元包括被配置成获得对准标记的图像的图像传感器，

其中，所述图像传感器通过获得在图像传感器的成像平面上的第一对准标记、第二对准标记、第三对准标记和第四对准标记的图像来获得第一对准标记、第二对准标记、第三对准标记和第四对准标记的图像，以及

其中检测光量是从获得的第一对准标记、第二对准标记、第三对准标记和第四对准标记的图像获得的。

5.根据权利要求1所述的测量设备，其中，通过由检测单元检测来自第一对准标记和第二对准标记的光而获得的第一对准标记和第二对准标记之间的第一相对位置的测量精度高于通过由检测单元检测来自第三对准标记和第四对准标记的光而获得的第三对准标记和第四对准标记之间的第二相对位置的测量精度。

6.根据权利要求1所述的测量设备，其中，第一对准标记是在第一方向和与第一方向不同的第二方向上都具有周期的第一衍射光栅，并且第二对准标记是在第二方向上具有周期的第二衍射光栅，第二衍射光栅的周期与第一衍射光栅的周期在第二方向上不同。

7.根据权利要求6所述的测量设备，

其中，所述检测单元包括被配置成获得对准标记的图像的图像传感器，以及

其中，所述图像传感器被配置成获得由第一衍射光栅和第二衍射光栅产生的莫尔条纹图案的图像、第三对准标记的图像和第四对准标记的图像。

8.根据权利要求7所述的测量设备，其中，所述调整单元被配置成调整具有第一波长的光的光量与具有第二波长的光的光量，使得由检测单元检测的来自第一衍射光栅和第二衍射光栅的端部的光的检测光量小于来自第一衍射光栅和第二衍射光栅的中心部分的光的检测光量的两倍。

9.根据权利要求1所述的测量设备，还包括控制单元，所述控制单元被配置成确定具有第一波长的光的目标光量和具有第二波长的光的目标光量，使得由检测单元检测的来自第一对准标记和第二对准标记的光的检测光量与来自第三对准标记和第四对准标记的光的检测光量之间的相对值落在预定范围内，以及

其中，调整单元被配置成将具有第一波长的光的光量和具有第二波长的光的光量调整到所确定的相应目标光量。