[发明专利]片盒搬运机器人在审
申请号: | 201710295962.8 | 申请日: | 2017-04-28 |
公开(公告)号: | CN108789423A | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 吴飞;许琦欣;杜荣;冯日盛;周红吉;李玲雨;王帆 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | B25J11/00 | 分类号: | B25J11/00;B25J19/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 片盒 自动导引小车 减振组件 外部框架 搬运机器人 片盒架 机器人本体 搬运机器 承载装置 对称分布 机械振动 人本发明 移动过程 机械手 晶圆 搬运 架设 疲劳 | ||
1.一种片盒搬运机器人,其特征在于,包括自动导引小车和架设在所述自动导引小车上的外部框架,所述外部框架上设有片盒承载装置、搬运所述片盒的机械手以及若干减振组件,所述若干减振组件对称分布在所述外部框架与自动导引小车之间。
2.如权利要求1所述的片盒搬运机器人,其特征在于,所述若干减振组件包括沿垂向设于所述自动导引小车上方的第一减振组件,其中至少两组与所述片盒对应设置。
3.如权利要求1或2所述的片盒搬运机器人,其特征在于,所述若干减振组件包括至少两组沿所述自动导引小车运动方向水平设置的第二减振组件。
4.如权利要求1所述的片盒搬运机器人,其特征在于,所述外部框架上安装有多个万向轮,所述多个万向轮作为从动轮跟随所述自动导引小车运动。
5.如权利要求4所述的片盒搬运机器人,其特征在于,所述多个万向轮上均设有第三减振组件。
6.如权利要求2所述的片盒搬运机器人,其特征在于,所述第一减振组件为橡胶、气浮垫或气囊。
7.如权利要求3所述的片盒搬运机器人,其特征在于,所述第二减振组件为弹性阻尼器。
8.如权利要求7所述的片盒搬运机器人,其特征在于,所述弹性阻尼器面向所述自动引导小车的一端的端面为斜面。
9.如权利要求5所述的片盒搬运机器人,其特征在于,所述第三减振组件为并联的双弹簧结构或双阻尼器。
10.如权利要求2所述的片盒搬运机器人,其特征在于,所述第一减振组件的肖氏硬度范围为45~65,垂向承重范围为5~50kg,水平向承重范围为2~20kg,垂向刚度和水平向刚度皆为10~500N/mm。
11.如权利要求3中所述的片盒搬运机器人,其特征在于,所述第二减振组件的刚度范围在10-10000N/mm之间,阻尼范围在10-10000N·s/mm之间。
12.如权利要求5所述的片盒搬运机器人,其特征在于,所述第三减振组件的刚度范围在10-10000N/mm之间。
13.如权利要求1所述的片盒搬运机器人,其特征在于,所述外部框架包括底部框架和顶部框架,所述底部框架罩设连接在所述自动导引小车上,所述顶部框架与所述机械手沿所述自动导引小车的运动方向设置在所述底部框架上,所述片盒承载装置固定在所述顶部框架上。
14.如权利要求1中所述的片盒搬运机器人,其特征在于,所述机械手包括机械臂和末端执行器,所述机械臂固定在所述底部框架上,所述末端执行器与所述机械臂末端关节呈倒L型布置。
15.如权利要求1所述的片盒搬运机器人,其特征在于,所述片盒承载装置设置有两个,在竖直方向上排列。
16.如权利要求1所述的片盒搬运机器人,其特征在于,所述外部框架采用方管焊接而成,材料为铝合金或镁合金。
17.如权利要求13所述的片盒搬运机器人,其特征在于,所述底部框架包括若干沿纵平面分布的斜向加强筋。
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