[发明专利]一种高效切割硅片用金刚线的制造方法

权利要求书

1.一种高效切割硅片用金刚线的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括如下步骤：（1）放线、去杂，（2）清洗，（3）表面预处理，（4）预镀，（5）上砂，（6）二次镀，（7）清洗、烘干、收线；

所述步骤（5）上砂，是将金刚石微粉电镀到母线基体表面：将步骤（4）中预镀好的金刚石微粉与镀液混合放入搅拌缸中，通过泵输送到镀液槽中，母线缠绕在辊筒上，浸没到镀液下方5-10mm并以12-20m/min匀速穿过，母线与电源负极相连，镀液槽底部均匀分布有镍块，镍块接通电源正极，镀液槽中镀液200-280L，其中，1L镀液中含氨基磺酸镍原液0.4-0.6L，该步骤中每升氨基磺酸镍原液含有镍离子140-160g，硼酸20-30g/L，氯化镍 9-12g/L，金刚石微粉投入量3.7-4.3g/L，添加剂比重20-30，电镀过程中电流12-15A，镀液温度50±2℃，镀液粘度1.1-1.3mPa·S，镀液循环流量150L/min，pH4.6-5.1；

所述步骤（6）二次镀，其电镀过程与步骤（5）相同，二次镀液成分：二次镀液250-300L，1L二次镀液中含氨基磺酸镍原液0.5-0.6L，该步骤中每升氨基磺酸镍原液含有镍离子150-180g，硼酸25-30g/L，氯化镍9-12g/L，光亮剂0.01-0.02g/L，电流28-30A，二次镀液温度52±2℃，二次镀液粘度1.3-1.4mPa·S，二次镀液循环流量150L/min，pH 3.8-4.4；

所述步骤（5）中添加剂包括络合剂、分散剂和光亮剂，上述物质按照质量比为3∶2∶1~3∶3∶1混合；

所述步骤（5）中添加剂的添加方式采用滴定法添加。

2.根据权利要求1所述的一种高效切割硅片用金刚线的制造方法，其特征在于，所述步骤（1）中去杂包含金刚石微粉去杂和母线去杂，金刚石微粉去杂是将金刚石微粉在70-80℃、质量浓度为15%-20%的NaOH溶液中超声120-360s，再在质量浓度为15%-20%HNO₃溶液中超声120-360s；母线去杂是将母线放入除油溶液中，超声3-5s，除油溶液中除油粉浓度为20-40g/L，比重为3-4，温度为60±2℃。

3.根据权利要求1所述的一种高效切割硅片用金刚线的制造方法，其特征在于，所述步骤（2）中清洗包括金刚石微粉和母线清洗，包括超声清洗、一次漂洗、酸洗、二次漂洗。

4.根据权利要求1所述的一种高效切割硅片用金刚线的制造方法，其特征在于，所述步骤（3）表面预处理，包含金刚石微粉表面预处理与母线表面预处理；其中，金刚石微粉表面预处理：先将金刚石微粉依次放入NaOH与HNO₃溶液进行浸泡腐蚀，浸泡时间10-30min，再经过超声漂洗，最后采用滤纸过滤并烘干；对母线采用稀硫酸与盐酸进行表面腐蚀预处理，腐蚀时间3-5s，再经过纯水清洗、烘干。

5.根据权利要求1所述的一种高效切割硅片用金刚线的制造方法，其特征在于，所述步骤（4）预镀，包括金刚石微粉预镀和母线预镀；

其中，金刚石微粉预镀：将表面预处理后的金刚石微粉加入镀液缸中，镀液缸中有搅拌装置，搅拌速度20-30转/min，镀液缸中的镀液的组成：硫酸镍19-25g/L，硼酸8-10g/L，氯化镍 4-6g/L，无水乙醇钠12-20g/L，萘三磺酸钠2-5g/L，pH3.8~4.4；

母线预镀：将表面预处理后的母线通过辊筒带动穿过电镀液槽，母线浸没于镀液下方5-10mm，母线接入电源负极，其中电镀液槽中镀液量100-120L，电镀液槽底部均匀铺设镍块，接入电源正极，电流0.7-0.8A，所述电镀液槽中镀液的组成：氨基磺酸镍0.2-0.5L/L，硼酸15-20g/L，氯化镍3-6g/L，十二烷基硫酸钠0.2-0.3g/L，镀液温度50±2℃，镀液粘度1.0-1.2mPa·S，pH3.8-4.2。

6.根据权利要求1所述的一种高效切割硅片用金刚线的制造方法，其特征在于， 所述步骤（5）母线浸入镀液下方10mm，金刚石颗粒埋没到母线镍层2-3um。