[发明专利]一种可隔绝水氧的密闭晶圆盒

权利要求书

1.一种可隔绝水氧的密闭晶圆盒，其特征在于，包括盒体(10)和门体(20)，所述门体(20)为复合式门体，包括前门(21)和后门(22)，所述盒体(10)包括开口(12)，所述开口(12)包括与所述后门(22)结合的内部件(122)以及与所述前门(21)结合的外部件(121)，所述前门(21)与所述后门(22)之间设置有腔体(32)，所述腔体(32)内表面设置多处凹槽(63)，所述前门(21)和所述后门(22)均包括至少一个门闩结构(60)，在所述后门(22)与所述盒体(10)的接触处设置有第一气密件(71)和第二气密件(70)，所述门体(20)上还设置有闩孔(27)，所述盒体(10)上设置有盒体闩孔(15)；

所述门闩结构(60)包括一个凸轮(62)、一对与凸轮(62)两端接触的滑动装置(64)、至少一个滑轮(66)、至少一个定位弹片(68)，所述凸轮(62)为椭圆凸轮(62)，所述盒体(10)上还设置有第二定位滑轮(647)；

所述前门(21)与后门(22)之间形成腔体(32)，门体(20)与盒体(10)盖合后形成前门(21)与后门(22)双层密闭。

2.如权利要求1所述的一种可隔绝水氧的密闭晶圆盒，其特征在于，所述内部件(122)的周长小于所述外部件(121)的周长，所述外部件(121)与盒体(10)外围处于同一平面或者凸出所述盒体(10)的外围。

3.如权利要求1所述的一种可隔绝水氧的密闭晶圆盒，其特征在于，在所述前门(21)与所述后门(22)上同一对应位置上设置有闩孔结构(31)。

4.如权利要求1所述的一种可隔绝水氧的密闭晶圆盒，其特征在于，在所述前门(21)与所述后门(22)的不同位置上设置有闩孔结构(31)。

5.如权利要求1所述的一种可隔绝水氧的密闭晶圆盒，其特征在于，所述滑动装置(64)的一端上设置有一第一定位滑轮(644)、另一端上设置有一实体的平面(646)，而介于滑动装置(64)两端之间设置有一滑槽(642)，所述椭圆凸轮(62)上设置有多个定位槽(622)，所述定位槽(622)设置在椭圆凸轮(62)上相对第一定位滑轮(644)的位置处，所述滑轮(66)位于后门(22)内部，且嵌入滑动装置(64)的滑槽(642)中，所述定位弹片(68)与滑动装置(64)连接成一体，所述第一定位滑轮(644)位于滑动装置(64)与椭圆凸轮(62)接触点的位置上。

6.如权利要求1所述的一种可隔绝水氧的密闭晶圆盒，其特征在于，所述腔体(32)和盒体(10)的腔体分别设置有充气阀，并且盒体(10)的腔体的气压大于腔体(32)的气压，腔体(32)的气压大于外界大气压。

7.如权利要求1所述的一种可隔绝水氧的密闭晶圆盒，其特征在于，所述第一气密件(71)环绕在所述门体(20)的四周，所述第二气密件(70)位于所述盒体(10)与所述后门(22)相接触的一面的四周。