[发明专利]一种管芯参数测试方法、适配装置及该装置的安装方法

权利要求书

1.一种管芯参数测试适配装置，所述适配装置(100)与测试设备(200)相装配，用于对管芯(1)进行测试，其特征在于，包括：阴极适配器(10)和阳极适配器(20)，所述管芯(1)设置于所述阴极适配器(10)与阳极适配器(20)之间；

所述阴极适配器(10)进一步包括阴极垫板(2)、阴极块(3)和门极件(4)，所述阴极垫板(2)、阴极块(3)采用导电材料；所述阴极垫板(2)设置有与所述管芯(1)的门极(11)相对应的阴极垫板槽(21)；所述门极件(4)设置于所述阴极垫板槽(21)中，在所述管芯(1)被测试时与所述管芯(1)的门极(11)相连；所述阴极垫板(2)的一面与所述管芯(1)的阴极(12)相装配，另一面与所述阴极块(3)相装配，所述阴极块(3)还与所述测试设备(200)相装配；

所述阳极适配器(20)进一步包括阳极块(5)，及用于固定所述管芯(1)的定位圈(6)，所述阳极块(5)采用导电材料，所述定位圈(6)设置于所述阳极块(5)的一面；所述阳极块(5)设置有定位圈(6)的一面在所述管芯(1)被测试时与所述管芯(1)的阳极(13)相装配，所述阳极块(5)的另一面与所述测试设备(200)相装配；

所述门极件(4)包括绝缘体(41)，以及设置于所述绝缘体(41)内部的门极线(42)和可活动的门极针(43)；所述门极针(43)采用导电材料，所述门极线(42)与所述门极针(43)彼此相连，在所述管芯(1)被测试时所述门极针(43)与所述管芯(1)的门极(11)相连；

在所述阴极垫板槽(21)中与所述管芯(1)的门极(11)对应的位置开设有用于安装所述门极件(4)的门极件安装孔(22)；在所述阴极垫板(2)上沿装配方向还开设有对准安装孔一(23)和对准安装孔二(24)，在所述阴极垫板槽(21)上与所述管芯(1)的锚顶(15)对应的位置设置有锚顶标记(25)；

在所述阴极块(3)上与门极件(4)对应的位置，沿装配方向设置有门极线引出辅助孔(31)，所述门极线引出辅助孔(31)为通孔；在所述阴极块(3)上与所述适配装置(100)相装配的一面，沿装配方向开设有对准安装孔三(32)和对准安装孔四(33)、阴极线紧固螺孔(37)，并设置有阴极适配器定位销(38)；在所述阴极块(3)的侧面开设有阴极适配器紧固螺孔(34)、阴极线引出孔(35)和门极线引出孔(36)；所述对准安装孔三(32)与所述对准安装孔一(23)的位置对应，所述对准安装孔四(33)与所述对准安装孔二(24)的位置对应；

所述阴极适配器紧固螺孔(34)与所述门极线引出辅助孔(31)相连通，当测试设备(200)上的阴极定位销(88)伸入所述门极线引出辅助孔(31)中，通过所述阴极适配器紧固螺孔(34)进行紧固；所述阴极线引出孔(35)与所述阴极线紧固螺孔(37)相连通，阴极线(101)的一端通过所述阴极线紧固螺孔(37)紧固在所述阴极适配器(10)中，另一端通过所述阴极线引出孔(35)对外引出；所述门极线引出辅助孔(31)与所述门极线引出孔(36)相连通，所述门极线(42)经所述门极线引出辅助孔(31)从所述门极线引出孔(36)对外引出；所述阴极线引出孔(35)的中心点与所述锚顶标记(25)的中心点在水平方向上的位置对准；

在所述阳极块(5)的侧面开设有阳极适配器紧固螺孔(51)和阳极线引出孔(52)，在所述阳极块(5)上与所述适配装置(100)相装配的一面，沿装配方向开设有阳极线紧固螺孔(53)，并设置有阳极适配器定位销(54)；

所述阳极适配器紧固螺孔(51)与所述阳极线紧固螺孔(53)相连通，当测试设备(200)上的阳极定位销(83)伸入所述阳极线紧固螺孔(53)中，通过所述阳极适配器紧固螺孔(51)进行紧固；所述阳极线引出孔(52)与所述阳极线紧固螺孔(53)相连，阳极线(102)的一端通过阳极线紧固螺孔(53)紧固在所述阳极适配器(20)中，另一端通过所述阳极线引出孔(52)对外引出；

所述定位圈(6)朝向所述阴极垫板(2)的一侧边缘开设有用于观察所述管芯(1)位置的对准观察窗口(61)，所述定位圈(6)上还开设有用于取出所述管芯(1)的管芯取出口(62)；所述对准观察窗口(61)的中心点与所述阴极线引出孔(35)的中心点在水平方向上的位置对准，所述对准观察窗口(61)的中心点与所述阳极适配器紧固螺孔(51)的中心点在水平方向上的位置对准。