[发明专利]一种量测系统及玻璃基板的量测方法

权利要求书

1.一种玻璃基板多机台混合量测的设备，其特征在于：包括，

投料仓、计算机控制系统、量测暂存回收仓、量测设备以及卡夹，

其中，投料仓用于玻璃基板的投料，量测设备用于玻璃基板的量测，计算机控制系统用于判别量测暂存回收仓的优先级，并判断投入玻璃基板后是否导致量测暂存回收仓满载，且在所述量测暂存回收仓未满载的情况下，将盛放玻璃基板的卡夹搬送到投料仓，所述计算机控制系统还用于判断需要进行量测的玻璃基板的量测项目种类，再控制投料仓将玻璃基板传送至优先级最高的量测暂存回收仓，等待量测设备空闲时，将所述量测暂存回收仓内的玻璃基板送至量测设备进行量测，待量测完成后，玻璃基板再返回量测暂存回收仓，所述计算机控制系统还用于判断量测暂存回收仓内的卡夹上是否还有未量测的玻璃基板，且在所述量测暂存回收仓内的玻璃基板全部完成量测后，所述量测暂存回收仓内的玻璃基板全部退出。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板多机台混合量测 的设备，其特征在于：所述量测暂存回收仓包括SP量测暂存回收仓、MCPD量测暂存回收仓以及TTP量测暂存回收仓；所述量测设备包括SP量测设备、MCPD量测设备以及TTP量测设备。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板多机台混合量测 的设备，其特征在于：所述SP量测暂存回收仓存放待SP量测设备量测的玻璃基板，所述MCPD量测暂存回收仓存放待MCPD量测设备量测的玻璃基板，所述TTP量测暂存回收仓存放待TTP量测设备量测的玻璃基板。

4.根据权利要求2所述的玻璃基板多机台混合量测 的设备，其特征在于：所述SP量测暂存回收仓、MCPD量测暂存回收仓以及TTP量测暂存回收仓分别暂存多个玻璃基板，其中，存放玻璃基板个数越少的量测暂存回收仓其优先级越高。

5.根据权利要求1所述的玻璃基板多机台混合量测 的设备，其特征在于：所述卡夹设于所述量测暂存回收仓和投料仓内，当量测暂存回收仓卡夹内的玻璃基板全部量测完毕后，卡夹携带量测完毕的玻璃基板退出量测暂存回收仓。

6.一种玻璃基板多机台混合量测的方法，其特征在于：包括以下步骤：

(1)、计算机控制系统依据暂存回收仓的玻璃基板数量判断优先级最高的暂存回收仓在投入玻璃基板后是否导致量测暂存回收仓满载；

(2)、量测暂存回收仓未满载的情况下，将盛放玻璃基板的卡夹搬送到投料仓；

(3)、判断需要进行量测的玻璃基板的量测项目种类，将玻璃基板投入到相应的优先级最高的量测暂存回收仓；

(4)、量测完毕后判断量测暂存回收仓内的卡夹上是否还有未量测的玻璃基板；

(5)、量测暂存回收仓内的玻璃基板全部完成量测后，量测暂存回收仓内的玻璃基板全部退出。

7.根据权利要求6所述的玻璃基板多机台混合量测 的方法，其特征在于：步骤(1)中投入玻璃基板后导致满载后，计算机控制系统重新计算，直至选出优先级最高的量测暂存回收仓。

8.根据权利要求6所述的玻璃基板多机台混合量测 的方法，其特征在于：步骤(2)中需要进行量测的玻璃基板量测项目包括单个量测项目和多个量测项目。

9.根据权利要求8所述的玻璃基板多机台混合量测 的方法，其特征在于：单量测项目直接进行步骤(4)，多量测项目则判断量测暂存回收仓的优先级，将多量测项目的玻璃基板投入到优先级最高的量测暂存回收仓。

10.根据权利要求6所述的玻璃基板多机台混合量测 的方法，其特征在于：步骤(4)中量测暂存回收仓内有其他未量测的玻璃基板，则判断量测暂存回收仓的优先级，将玻璃基板投入到优先级最高的量测暂存回收仓。