[发明专利]一种线栅偏振器、其制作方法及显示面板

说明书

本发明涉及一种线栅偏振器、其制作方法及显示面板，用以解决现有的金属线栅偏振器，在使用过程中金属线栅很容易被氧化或者腐蚀，进而导致线栅偏振器的反射率下降的问题。该线栅偏振器包括：设置在衬底基板上的若干条线栅；其中，线栅相互平行排列、且每相邻两条线栅之间的间距相等；至少一条线栅包括线栅主体、以及包覆在线栅主体表面的保护膜；保护膜材料的硬度和抗腐蚀能力大于线栅主体材料的硬度和抗腐蚀能力。其中线栅包括线栅主体、以及包覆在线栅主体表面的保护膜，由于保护膜材料的硬度和抗腐蚀能力均大于线栅主体材料的硬度和抗腐蚀能力，因此保护膜可以有效的保护线栅主体不被氧化或者腐蚀，而且可以提高线栅的硬度以及耐磨损能力。

技术领域

本发明涉及线栅偏振器技术领域，尤其涉及一种线栅偏振器、其制作方法及显示面板。

背景技术

线栅偏振器由衍射光栅构成，其具有使透射的光线成为偏振光的功能，所述衍射光栅在由玻璃等构成的基板上以比光的波长短的周期平行地配置有线栅，其中线栅的周期为线栅的宽度与线栅之间的间距之和。对从光源射入的光，线栅偏振器可以将与线栅平行的光被反射回去，而将垂直于线栅方向的光透射过去，即：垂直于线栅方向为透光轴、平行于线栅方向为反射轴。

现有技术中还提供了一种由金属材料构成的线栅偏振器，然而，现有的金属线栅偏振器通常采用等离子体干刻高膜厚金属制作而成，金属线栅在使用过程中很容易被氧化或者腐蚀，而被氧化或者腐蚀的金属线栅的反射率会严重下降，影响线栅偏振器的性能。

综上所述，现有的金属线栅偏振器，在使用过程中金属线栅很容易被氧化或者腐蚀，进而导致线栅偏振器的反射率下降。

发明内容

本发明的目的是提供一种线栅偏振器、其制作方法及显示面板，用以解决目前现有的金属线栅偏振器，在使用过程中金属线栅很容易被氧化或者腐蚀，进而导致线栅偏振器的反射率下降的问题。

本发明实施例提供了一种线栅偏振器，包括：设置在衬底基板上的若干条线栅；其中，

所述线栅相互平行排列、且每相邻两条线栅之间的间距相等；

至少一条所述线栅包括线栅主体、以及包覆在所述线栅主体表面的保护膜；

所述保护膜材料的硬度和抗腐蚀能力大于所述线栅主体材料的硬度和抗腐蚀能力。

较佳的，所述保护膜的厚度为0.1微米-0.2微米。

较佳的，所述保护膜的材料为下列材料之一或组合：镍，或铜。

较佳的，所述线栅偏振器还包括：

设置在所述线栅上远离所述衬底基板的一侧、且与所述线栅的排列方式相同的硬掩膜；

所述线栅在所述衬底基板上的正投影与所述硬掩膜在所述衬底基板上的正投影互相重叠。

较佳的，所述线栅的材料包括：铝；

所述硬掩膜的材料包括下列材料之一或组合：氧化硅，或氮化硅。

本发明实施例还提供了一种显示面板，包括如本发明实施例提供的上述线栅偏振器。

本发明实施例还提供了一种线栅偏振器的制作方法，包括：

将具有线栅图案的线栅偏振器浸入到反应液中，利用所述反应液中的活化剂，对所述线栅图案中的线栅主体进行活化处理，溶解所述线栅主体表面的氧化膜，使所述线栅主体的材料裸露出来，作为用于为所述线栅主体的表面镀保护膜的活性位点；

依次向所述反应液中加入能够为所述线栅主体的表面镀保护膜的主盐和各添加剂，通过所述反应液中各组分之间的化学反应，从所述活性位点位置处开始镀保护膜材料，以使所述线栅主体的表面沉积一层保护膜，形成最终待制作线栅的图案。

较佳的，所述主盐包括但不仅限于：硫酸镍；