[发明专利]显影设备的排气系统及其调节机构

权利要求书

1.一种显影设备的排气系统，其特征在于，所述排气系统包括：

多个排气口，沿着待显影基板的流水线方向依序设置；

排气机构，分别设置于每个所述排气口，并使得所述排气口的排气能力沿着所述流水线方向依序增强；

调节机构，所述调节机构包括壳体，所述壳体内设有气流通道，所述气流通道的两端分别设有第一开口和第二开口，所述第一开口面积大于所述第二开口面积，且所述第二开口数量为多个，所述第一开口或所述第二开口与所述排气口匹配相通。

2.根据权利要求1所述的排气系统，其特征在于，所述第二开口为蜂孔状，所述第二开口为规律排布或疏密排布。

3.根据权利要求2所述的排气系统，其特征在于，所述调节机构为六面体，所述第一开口和所述第二开口分别设置于所述六面体相对的两面，所述第一开口是所述六面体的一面敞口，所述第二开口布满所述六面体的另一相对面。

4.根据权利要求3所述的排气系统，其特征在于，所述六面体长度为300～800mm，宽度和高度均为100～200mm。

5.根据权利要求1所述的排气系统，其特征在于，每一所述蜂孔的直径为10～20mm。

6.根据权利要求1所述的排气系统，其特征在于，所述第一开口与所述排气口匹配相通，所述第二开口朝向所述流水线设置；或者，所述第二开口与所述排气口匹配相通，所述第一开口朝向所述流水线设置。

7.根据权利要求1-6任一项所述的排气系统，其特征在于，所述排气系统进一步包括阀门，所述阀门设置于所述排气口，并用于调节所述排气口的排气风量。

8.根据权利要求7所述的排气系统，其特征在于，所述排气机构包括抽风机，所述抽风机用于在所述显影设备内产生负压。

9.一种用于显影设备的排气系统的调节机构，其特征在于，所述调节机构包括壳体，所述壳体内设有气流通道，所述气流通道的两端分别设有第一开口和第二开口，所述第一开口面积大于所述第二开口面积，且所述第二开口数量为多个，所述第一开口或所述第二开口与所述排气系统的排气口匹配相通。

10.根据权利要求9所述的调节机构，其特征在于，所述第二开口为蜂孔状，所述第二开口为规律排布或疏密排布。