[发明专利]金刚石工具

说明书

技术领域

本发明涉及用于通过金刚石尖头(diamond point)对玻璃基板、硅晶片等脆性材料基板进行刻划的金刚石工具。

背景技术

以往，为了对玻璃基板、硅晶片进行刻划，应用使用了刻划轮、由单晶金刚石构成的金刚石尖头的工具。针对玻璃基板，主要使用相对于基板转动的刻划轮，但考虑到刻划后的基板的强度提高等优点，也探讨了使用作为固定刃的金刚石尖头。在专利文献1中提出了为了对玻璃板进行刻划而使用具有圆锥形的前端的玻璃刻划器(glass scriber)的刻划装置。此外，在专利文献2中提出了将金刚石颗粒3的前端面设为平面而朝向棱线形成研磨面并将研磨面与棱线的交点设为尖头的金刚石刻划器。

在先专利文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-043787号公报

专利文献2：日本特开2005-088455号公报

发明内容

在以往的单晶金刚石作为工具进行加工的情况下，根据晶体取向而存在优选的加工的方向，但存在有在单一平面的加工中难以形成适于各个尖头的加工面的问题点。另外，在对被称作刀尖的顶面的面进行加工、接着对与顶面连接的棱线进行加工而形成尖头、且反复进行上述操作而形成多个尖头的情况下，当在任一棱线加工中在顶面侧产生了缺口的情况下，需要再次对顶面进行加工。同样，即便在用于形成棱线的倾斜面的加工时，也可能对其他的棱线的位置、角度造成影响。因此，存在有可能需要加工至不需要的地方、或者使已经形成的尖头产生缺口的问题点。

本发明是鉴于这样的以往的问题点而完成的，其目的在于提供一种能够进行生产率高的刀尖加工的金刚石工具。

用于解决课题的方案

为了解决该课题，本发明的金刚石工具具备：棱柱形的基座，其包括上表面以及与该上表面垂直的多个外周面；顶面，其通过在所述棱柱的上表面的各顶点处以使与包括上表面的该顶点且等分上表面的等分线垂直的线成为截段的方式从上表面倾斜角度θ1而成；以及一对倾斜面，它们通过从包括该顶点的邻接的两个外周面朝向该顶点倾斜而成，所述一对倾斜面与所述顶面的交点为尖头。

此处，也可以构成为，所述上表面与所述顶面的角度θ1超过0°且为15°以下。

发明效果

根据具有这样的特征的本发明，在对棱柱状的单晶金刚石进行加工的情况下，能够分别针对各尖头进行适于晶体取向的加工，加工质量稳定。另外，将顶面与棱线独立地进行加工，因此，当加工一个尖头的顶面以及棱线时不会对其他的尖头的顶面以及棱线造成影响。进而，获得如下效果：在先加工顶面再加工棱线的情况下，即便在顶面侧产生缺口而再次加工的情况下，也不会对其他的尖头的顶面造成影响。此外，工具的侧面为与上表面垂直的外周面，当安装于工具架时能够容易进行定位。

附图说明

图1(a)是示出本发明的第一实施方式的金刚石工具的制造过程的俯视图，图1(b)是主视图。

图2(a)是实施方式的金刚石工具的俯视图，图2(b)是主视图。

图3是示出本发明的实施方式的金刚石工具的尖头部分的局部放大图。

附图标记说明

10 金刚石工具

11 基座

12 上表面

12a～12d 顶点

13a～13d 外周面

14、15 等分线

14a、14b、15a、15b 截段

16a～16d 顶面

17a～17h 倾斜面

18a～18d 棱线

P1～P4 尖头

具体实施方式

接下来，对本发明的实施方式进行说明。图1(a)是示出本发明的实施方式的金刚石工具的制造过程的俯视图，图1(b)是主视图。该金刚石工具将一定高度的四棱柱的单晶金刚石作为基座11。该基座11具有上表面12以及四方的外周面13a～13d。上表面12为正方形，将上表面12的四方的顶点设为12a～12d。相对于该基座11在上表面12的各顶点12a～12d部分生成尖头。

接着，对形成于上表面12的四方的顶点的尖头的加工进行说明。对于上表面12的一个顶点12a，如图2(a)以及图3所示，以使与包括该顶点12a且等分上表面12的等分线15垂直的线成为上表面12的截段14a的方式、且以从上表面12朝向外周面13a、13b而倾斜角度θ1的方式形成顶面16a。