[发明专利]液体处理装置在审
| 申请号： | 201710826009.1 | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN108117135A | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 岩永顺子;高柳哲也;石田昌宏 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | C02F1/46 | 分类号： | C02F1/46 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 高迪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 绝缘体 第一电极 第一空间 气体供应装置 液体处理装置 第二电极 供应气体 筒状 开口 等离子体 包围 储存液体 第二空间 气体覆盖 施加电压 侧面 排出 配置 电源 申请 | ||
1.一种液体处理装置，具备：
容器，用于储存液体；
第一电极；
第二电极，至少一部分配置在所述容器内；
筒状的第一绝缘体，隔着第一空间包围所述第一电极的侧面，在与所述液体相接的端面具有第一开口；
筒状的第二绝缘体，在所述第一绝缘体的内侧包围所述第一电极的侧面；
气体供应装置，向所述第一空间内供应气体，从而经由所述第一开口将所述气体排出至所述液体中；以及
电源，向所述第一电极与所述第二电极之间施加电压，从而产生等离子体，
所述第二绝缘体与所述第一绝缘体隔着第二空间配置，
使用所述气体供应装置向所述第一空间内供应所述气体，从而所述第一电极之中位于所述容器内的部分及所述第二绝缘体之中位于所述容器内的部分被所述气体覆盖。
2.如权利要求1所述的液体处理装置，其中，
所述第一电极的至少一部分与所述液体的液面相比位于下方。
3.如权利要求1所述的液体处理装置，其中，
所述第一电极的端面及所述第二绝缘体的端面从所述第一开口向所述第二空间的内部后退。
4.如权利要求1所述的液体处理装置，其中，
所述第一电极包含圆柱部，
所述第一绝缘体及所述第二绝缘体分别包围所述圆柱部的侧面，
所述圆柱部、所述第一绝缘体及所述第二绝缘体被配置在同轴上。
5.如权利要求1所述的液体处理装置，其中，
所述第二绝缘体隔着第三空间包围所述第一电极的侧面，在所述第二绝缘体的端面具有第二开口。
6.如权利要求5所述的液体处理装置，其中，
所述第一电极的端面从所述第二开口向所述第三空间的内部后退。
7.如权利要求5所述的液体处理装置，其中，
所述第一电极的端面从所述第二开口突出。
8.如权利要求1所述的液体处理装置，其中，
所述气体供应装置经过所述第二空间将所述气体排出至所述液体中。
9.如权利要求5所述的液体处理装置，其中，
所述气体供应装置经过所述第二空间及所述第三空间将所述气体排出至所述液体中。
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