[发明专利]一种用于透射电镜成像的相位板装置

权利要求书

1.一种用于透射电镜成像的相位板装置，其特征在于，包括，

真空仓(1)，其一侧与透射电镜的镜筒(4)相连接；

三维调节台(2)，其设置在所述真空仓(1)内部；

支撑杆(3)，其远离所述镜筒(4)的一端与所述三维调节台(2)相连接，靠近所述镜筒(4)的一端与相位板支架(5)相连接，所述支撑杆(3)通过所述三维调节台(2)进行位置调整，使设置在所述相位板支架(5)上的相位板(6)在所述镜筒(4)内进行位置调整。

2.根据权利要求1所述的一种用于透射电镜成像的相位板装置，其特征在于，所述真空仓(1)的一侧通过真空法兰(7)与所述透射电镜的镜筒(4)相连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于透射电镜成像的相位板装置，其特征在于，所述三维调节台(2)包括一端与所述真空仓(1)内部相连接的升降台(201)、以及与所述升降台(201)另一端相连接的平移台(202)，所述平移台(202)与所述支撑杆(3)相连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于透射电镜成像的相位板装置，其特征在于，所述相位板支架(5)上设置有多个相位板放置槽(501)，所述相位板(6)和/或物镜光阑通过“C”形弹簧(10)固定在所述相位板放置槽(501)内。

5.根据权利要求1至4任一项所述的一种用于透射电镜成像的相位板装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器通过真空电连接器(11)与所述三维调节台(2)电连接，用于控制所述三维调节台(2)在X、Y、Z方向上的位置调整。

6.根据权利要求5所述的一种用于透射电镜成像的相位板装置，其特征在于，所述真空仓(1)包括真空仓体(101)、以及设置在所述真空仓体(101)上的真空仓门(102)，所述三维调节台(2)通过调节台底座(12)与所述真空仓门(102)或真空仓体(101)相连接，所述真空电连接器(11)设置在所述调节台底座(12)上方的所述真空仓门(102)上。

7.根据权利要求5所述的一种用于透射电镜成像的相位板装置，其特征在于，所述支撑杆(3)包括一端与所述三维调节台(2)相连接的连接杆(301)、以及通过隔热的陶瓷连接件(302)与所述连接杆(301)另一端相连接的加热棒(303)，所述加热棒(303)与所述相位板支架(5)相连接。

8.根据权利要求7所述的一种用于透射电镜成像的相位板装置，其特征在于，所述加热棒(303)的内部设置有加热芯(304)，所述加热芯(304)通过所述真空电连接器(11)与所述控制器相连接，所述控制器控制所述加热芯(304)的加热温度。

9.根据权利要求8所述的一种用于透射电镜成像的相位板装置，其特征在于，所述加热棒(303)和所述相位板支架(5)均由热的良导体制成。

10.根据权利要求8所述的一种用于透射电镜成像的相位板装置，其特征在于，所述加热棒(303)上设置有温度传感器，所述温度传感器通过所述真空电连接器(11)与温度显示器相连接。