[发明专利]一种喷嘴和涂布机

权利要求书

1.一种喷嘴，用于涂布光阻，其特征在于，所述喷嘴包括：第一壳体、第二壳体和多个探针；所述第一壳体和第二壳体围成一个腔体，多个所述探针垂直设置于所述腔体内，多个所述探针用于使光阻从多个所述探针的间隙中流出；所述第一壳体包括第一端，所述第二壳体包括第二端，所述第一端和第二端围成所述喷嘴的喷口，所述喷口与所述腔体贯通；所述第一端内侧包括滑动部，多个所述探针与滑动部连接并随滑动部在所述喷口内滑动。

2.如权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述滑动部包括滑轨和滑动装于所述滑轨的连接体，所述探针位于所述连接体上，所述滑轨的滑动方向与所述探针的延伸方向垂直。

3.如权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴还包括沿水平面设置的标尺，所述标尺用于标识多个所述探针在所述喷嘴中的位置。

4.如权利要求3所述的喷嘴，其特征在于，所述标尺设置于所述滑动部、第一壳体外表面或第二壳体外表面靠近所述喷口的位置。

5.如权利要求3所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴还包括控制器，所述控制器用于控制所述探针在所述腔体内的位置。

6.如权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述第一壳体和第二壳体上设有注入口，所述注入口用于将光阻注入所述腔体内。

7.如权利要求6所述的喷嘴，其特征在于，所述探针在所述腔体内的顶部位置高于所述注入口的位置。

8.如权利要求7所述的喷嘴，其特征在于，所述探针采用耐磨材料制成。

9.一种涂布机，用于向玻璃基板表面涂布光阻，其特征在于，包括如权利要求1～8任一项所述的喷嘴、连接喷嘴的光阻存储器及承载玻璃基板的承载台。

10.如权利要求9所述的涂布机，其特征在于，所述涂布机还包括驱动马达，所述驱动马达用于驱动所述喷嘴向玻璃基板表面涂布光阻。