[发明专利]探针卡及其多重信号传输板

说明书

本发明提供一种探针卡及其多重信号传输板。探针卡包含：印刷电路板、探针、使探针穿置于其中的探针固定座、阻抗匹配信号线及多重信号传输板。阻抗匹配信号线电性耦接于印刷电路板的接点。多重信号传输板包含：软性电路板、信号走线及接地模块。信号走线设置于软性电路板上，一端电性耦接于阻抗匹配信号线的信号结构，另一端电性耦接于探针。接地模块设置于软性电路板上，包含：第一接地端、第二接地端以及第一隔离元件。第一接地端电性耦接于阻抗匹配信号线的屏蔽结构。第二接地端电性耦接于实际接地电位。第一隔离元件电性耦接于第一接地端以及第二接地端之间。本发明使探针卡通过多重信号传输板上隔离元件的设置，避免接地电位的噪声干扰。

技术领域

本发明是有关于一种探针卡，且特别是有关于一种防止探针之间噪声干扰的探针卡及其多重信号传输板。

背景技术

探针卡的主要目的是通过其探针直接与待测物(如芯片)上的焊垫或是凸块直接接触，配合周边测试机台与软件控制而达到自动化测量目的，并进一步地筛选出不良品，通常是通过测试机台发送测试信号，经探针卡到待测物，再由待测物回送测试结果信号，经探针卡到测试仪器进行分析。

探针卡的信号传递路径可能出现衰减或干扰问题。为解决这样的现象，常采用阻抗匹配信号线(例如同轴信号线)来减少耦合问题。往常，探针卡的阻抗匹配信号线配置方式是将大量不同类型的信号线一起连接到接地层。但这种配置方式不但容易增加电流回路的大小，也容易增加接地反弹，造成彼此间噪声干扰而无法连接至真正的地。

因此，如何设计一个新的探针卡及其多重信号传输板，以解决上述的问题，乃为此一业界亟待解决的问题。

发明内容

本发明的目的在使探针卡通过多重信号传输板上隔离元件的设置，避免接地电位的噪声干扰。

因此，本发明的一态样是在提供一种多重信号传输板，包含：软性电路板、多个信号走线以及多个接地模块。软性电路板包含相对的第一侧边以及第二侧边。信号走线设置于软性电路板上，且分别包含对应于第一侧边的第一终端以及对应于第二侧边的第二终端，其中各信号走线的第一终端电性耦接于阻抗匹配信号线的第一端的信号结构，第二终端电性耦接于多个探针其中之一。接地模块设置于软性电路板上，分别包含：第一接地端、第二接地端以及第一隔离元件。第一接地端电性耦接于对应的阻抗匹配信号线的第一端的屏蔽结构。第二接地端电性耦接于实际接地电位。第一隔离元件电性耦接于第一接地端以及第二接地端之间。

于一实施例中，多重信号传输板更包含至少一接地层，设置于软性电路板上，第二接地端通过接地层电性耦接于实际接地电位。

于一实施例中，接地层设置于软性电路板的第一侧边以及第二侧边之间的边缘上。

于一实施例中，第一隔离元件为0欧姆电阻或电感。

于一实施例中，各接地模块邻设于信号走线其中之一旁，并位于软性电路板的第一侧边上。

于一实施例中，软性电路板与阻抗匹配信号线的阻抗匹配。

于一实施例中，各阻抗匹配信号线的第二端直接电性耦接于实际接地电位。

于一实施例中，各阻抗匹配信号线的第二端更分别通过第二隔离元件电性耦接于实际接地电位。