[发明专利]基板传送系统及方法

说明书

本公开提供一种基板传送系统，包括皮带、滚轮、基板传送组件、位置感测器、及驱动机构。滚轮配置用以带动皮带滚动。基板传送组件连接皮带并用以传送基板。位置感测器配置用以检测皮带在滚轮的轮轴方向上的位置。驱动机构配置用以驱动滚轮沿着轮轴方向移动，使得皮带保持在轮轴方向上的一既定位置范围内。本公开提供的基板传送系统可以延长皮带的使用寿命及降低皮带突然断裂的机会(亦即，提高基板传送系统的信赖度及可利用性)，降低基板的报废率，并提高各制程的良率。

技术领域

本发明实施例关于一种半导体技术，特别涉及一种基板传送系统及方法。

背景技术

现代的工业社会中，自动化控制系统已逐渐取代人力，成为提高生产效率的关键，尤其是半导体先进制程中更是大量地引进自动化控制系统以进行各种精密的制造步骤，以降低成本及避免人为疏失。

举例来说，半导体装置是通过一系列的半导体制造机台处理半导体基板而产出。其中，配置于各制造机台中的一或多个基板传送系统可将基板从载入口送入处理腔室以进行一特定的制程处理，并于制程结束后，再将基板从载出口送出制造机台。此外，一些半导体制造机台中可以设有多个独立的处理腔室，并通过基板传送系统在不同的处理腔室之间传送基板。

虽然现有的基板传送系统及方法已经足以实现其目标，但这些系统及方法仍不能在各方面令人满意。

发明内容

本公开一些实施例提供一种基板传送系统，包括一皮带、一滚轮、一基板传送组件、一位置感测器、及一驱动机构。滚轮配置用以带动皮带滚动。基板传送组件连接皮带，用以传送一基板。位置感测器配置用以检测皮带在滚轮的一轮轴方向上的位置。驱动机构配置用以驱动滚轮沿着轮轴方向移动，使得皮带保持在轮轴方向上的一既定位置范围内。

本公开一些实施例提供一种基板传送系统，包括一皮带、一主动轮、一从动轮、一基板传送组件、一第一位置感测器、一第一驱动机构、一第二位置感测器、及一第二驱动机构。主动轮配置用以通过一马达的驱动而发生转动。从动轮配置用以配合主动轮来带动皮带滚动。基板传送组件配置用以通过皮带的带动而传送一基板。第一位置感测器配置用以检测皮带在主动轮的一轮轴方向上的位置。第一驱动机构配置用以驱动主动轮沿着其轮轴方向移动，使得皮带保持在主动轮的轮轴方向上的一第一位置范围内。第二位置感测器配置用以检测皮带在该动轮的一轮轴方向上的位置。第二驱动机构配置用以驱动从动轮沿着其轮轴方向移动，使得皮带保持在从动轮的轮轴方向上的一第二位置范围内，其中第一、第二位置范围的上边界是在一相同水平高度上，且第一、第二位置范围的下边界是在另一相同水平高度上。

本公开一些实施例提供一种基板传送方法，包括通过一基板传送系统传送至少一基板，其中基板传送系统包括一皮带、一滚轮及一基板传送组件，滚轮用以带动皮带滚动，而基板传送组件用以通过皮带的带动而传送至少一基板。基板传送方法还包括在传送至少一基板的过程中，检测皮带在滚轮的一轮轴方向上的位置。此外，基板传送方法还包括当检测到皮带在滚轮的轮轴方向上发生偏移并超出一既定位置范围时，将滚轮沿着轮轴方向移动，使得皮带复位到既定位置范围内。

附图说明

图1显示根据一些实施例的一具有基板传送系统的半导体制造机台的示意图。

图2显示根据一些实施例的一基板传送系统的部分元件的侧视示意图。

图3显示根据一些实施例的一基板传送系统的部分元件的上视示意图。

图4显示根据一些实施例的一基板传送系统的部分元件的侧视示意图，其中，基板传送系统的滚轮可以基于皮带的偏移进行移动，并使得皮带复位。

图5A、图5B显示根据一些实施例的用于检测皮带偏移量的不同形式的位置感测器的示意图。

图6显示根据一些实施例的一基板传送系统的部分元件的方框图。

图7显示根据一些实施例的一基板传送方法的流程图。