[发明专利]用于测量气浮系统中气膜各种参数的测量装置

说明书

本发明涉及用于测量气浮系统中气膜各种参数的测量装置。包括二维滑动工作台、支架和底座；二维滑动工作台包括电机、纵向滑板、横向滑板和工作面板；二维滑动工作台安装在支架上，工作面板的工作面上设有微位移传感器、压力传感器、温度传感器、薄片振动传感器和薄片；在电机的作用下实现工作面板沿Z方向的移动；纵向滑板在横向滑板上实现沿X方向的移动；支架在底板上实现沿Y方向的移动；测量时，被测的测量气浮系统位于底座的支撑块上，且被测的测量气浮系统的气浮板的顶面对应着工作面板的工作面。本发明实现了气膜流场复杂三维流动各处的压力、振动、温度的测量，以及不同气膜厚度气膜流场的各参数测量问题。

技术领域

本发明属于精密机械技术领域，具体涉及用于测量气浮系统中气膜各种参数的测量装置。

背景技术

随着液晶玻璃基板生产线不断升级，玻璃基板的尺寸越来越大，厚度越来越薄，对检测过程中玻璃基板的支承与传输精度提出了更高要求。气浮支承传输具有支承精度高、非接触等优点，是高端液晶玻璃基板光学检测仪器中被测液晶玻璃基板较为理想的支承传输方式。气浮支承下气膜面的压力分布对气浮系统承载性能的影响程度直接决定着整个工作台的精密程度，甚至对支承物的变形和破裂影响很大，由于气浮板生产过程中供气孔各结构参数的差异以及节流通道可能出现漏气现象，都会导致气膜面压力峰值的误差过大，进而影响玻璃基板的测量精度。气膜流场是一种相当复杂的三维流动，如何准确测量出气膜面的压力参数，这是气浮系统设计的重要问题。同时气膜面气体的振动是理论研究的需要，是实际工作中实验气膜对浮板振动影响的需要，如何准确测量出气膜面的气体振动振幅，这是实验测量的重要问题。为了解决这些问题，本发明提出了一种测量气浮系统气膜多参数的装置，用一块可移动的测量浮板代替了玻璃基板。

发明内容

为了实现准确测量气膜面任意位置的压力大小、气体的振动、气体温度，同时，能够测量不同气膜厚度下的压力大小、气体的振动频率、气体温度，有效解决了气膜流场的气膜参数测量问题，本发明提供用于测量气浮系统中气膜各种参数的测量装置。

用于测量气浮系统中气膜各种参数的测量装置包括二维滑动工作台2、支架3和底座1；

所述二维滑动工作台2包括电机201、纵向滑板202、横向滑板203和固定板204，纵向滑板202在横向滑板203上实现沿X方向的移动；所述电机201设于纵向滑板202的上端，所述测量浮板5的一侧面连接着纵向滑板202的下端，在电机201的作用下实现测量浮板5沿Z方向的移动；所述测量浮板5的另一侧为工作面，所述工作面上设有微位移传感器6、压力传感器11、温度传感器12、薄片振动传感器4和薄片13；

所述支架3包括直立的两根支杆和一根X方向的横向支杆，且横向支杆连接着两根支杆的上端；所述二维滑动工作台2设于支架3的横向支杆上；

所述底座1包括底板和两块以上的支撑块101，两块以上的支撑块101均匀布置设于底板的中部；支架3的两根支杆的下端分别滑动设于底板的两侧，实现支架3在底板上沿Y方向的移动；

所述测量浮板5平行于底板；

测量时，被测的测量气浮系统位于两块以上的支撑块101上，且被测的测量气浮系统的上浮板20的顶面对应着测量浮板5的工作面7。

进一步限定的技术方案如下：

所述二维滑动工作台2为十字滑台，行程为500mm×600mm，精度为0.02-0.04mm。

所述二维滑动工作台2通过固定板204设于支架3的横向支杆上，且使横向滑板203平行于横向支杆，使纵向滑板202在横向滑板203上实现沿X方向的移动。

所述测量浮板5的工作面7上开设有薄片槽，所述薄片13嵌设在薄片槽内，薄片13和工作面在同一平面内，且薄片13对应着薄片振动传感器4。