[发明专利]坩埚及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201711295082.7 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN107794500B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 吴新风;王欣竹;胡友元;李菲;栾梦雨;李慧慧;赵程鹏 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚本体 坩埚盖 坩埚 蒸镀装置 弹性圈 中空 膜层 沉积物 开口 出口 蒸镀膜层 不均匀 蒸发孔 基板 蒸镀 连通 堵塞 覆盖 | ||
1.一种坩埚，其特征在于，所述坩埚包括：坩埚本体和坩埚盖，所述坩埚本体上设置有出口，所述坩埚盖覆盖所述出口；
所述坩埚盖包括：弹性圈，所述弹性圈上的中空部分连通所述出口，所述中空部分靠近所述坩埚本体一端的开口面积大于远离所述坩埚本体一端的开口面积。
2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚盖还包括：n个内衬片，n≥3，
所述n个内衬片均贴附在所述弹性圈的内壁，且每个所述内衬片远离所述内壁的表面为目标表面，所述目标表面的摩擦系数小于所述弹性圈的内壁的摩擦系数。
3.根据权利要求1或2所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚盖还包括：盖体，
所述盖体和所述弹性圈均为环形结构，且所述弹性圈套接在所述盖体内。
4.根据权利要求3所述的坩埚，其特征在于，所述中空部分呈圆台状。
5.根据权利要求4所述的坩埚，其特征在于，所述弹性圈的轴线与所述中空部分的轴线共线。
6.根据权利要求4所述的坩埚，其特征在于，所述出口呈圆形，且所述出口的圆心位于所述中空部分的轴线上。
7.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述n个内衬片均匀的贴附在所述弹性圈的内壁。
8.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述内衬片的材质为金属。
9.根据权利要求1或2所述的坩埚，其特征在于，
所述弹性圈的材质为硼硅橡胶。
10.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括权利要求1至9任一所述的坩埚。
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