[发明专利]光掩膜承载盒以及光掩膜装置的承载及清洁方法

权利要求书

1.一种光掩膜承载盒，用以承载光掩膜装置，其特征在于，包括：

壳体，包括容置空间、进气孔以及抽气口，所述光掩膜装置设置于所述容置空间内，且所述进气孔经配置以将清洁气体注入所述壳体的所述容置空间内；以及

抽气装置，设置于所述壳体上并对应所述抽气口，以对所述容置空间进行抽气。

2.根据权利要求1所述的光掩膜承载盒，所述抽气装置包括螺旋式泵。

3.根据权利要求1所述的光掩膜承载盒，所述壳体更包括把手部，凸出于所述壳体，所述抽气口设置于所述把手部上并连通所述容置空间。

4.根据权利要求3所述的光掩膜承载盒，所述壳体包括彼此固定的上壳体以及下壳体，以共同定义出所述容置空间，所述进气孔设置于所述下壳体上，且所述把手部设置于所述上壳体上。

5.根据权利要求1所述的光掩膜承载盒，所述光掩膜装置包括极紫外光掩膜。

6.根据权利要求1所述的光掩膜承载盒，更包括抽气开关，设置于所述壳体并用以覆盖或暴露所述抽气口。

7.根据权利要求6所述的光掩膜承载盒，所述抽气开关包括：

驱动件，穿过所述壳体并凸出于所述壳体的外表面；以及

阻挡件，设置于所述壳体的内表面并连接所述驱动件，以受所述驱动件的带动而移动于暴露所述抽气口的开启位置以及覆盖所述抽气口的关闭位置之间。

8.一种光掩膜装置的承载及清洁方法，包括：

提供一光掩膜承载盒，其中所述光掩膜承载盒包括一壳体以及一抽气装置；

将一光掩膜装置设置于所述壳体内；

注入一清洁气体至所述壳体内；以及

以所述抽气装置对所述壳体内部进行抽气，以使所述清洁气体充满所述壳体。

9.根据权利要求8所述的光掩膜装置的承载及清洁方法，其中当所述光掩膜装置设置于所述壳体内时，所述抽气装置以一第一速率运转。

10.根据权利要9所述的光掩膜装置的承载及清洁方法，还包括：

将所述光掩膜装置自所述光掩膜承载盒内移出，其中所述光掩膜装置自所述光掩膜承载盒内移出之后，所述抽气装置以所述第二速率运转，且所述第一速率小于所述第二速率。