[发明专利]一种基于激光直写技术的微液滴操控方法有效
| 申请号： | 201711371800.4 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN107937915B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 王萌;邢飞;郭传飞;刘前;阮双琛 | 申请（专利权）人： | 深圳技术大学（筹） |
| 主分类号： | C23C30/00 | 分类号： | C23C30/00;C23F1/38;B82Y40/00;B05D7/00;B05D5/00;B23K26/00;B23K26/354 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 518118 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 技术 微液滴 操控 方法 | ||
1.一种基于激光直写技术的微液滴操控方法，其特征在于，包括步骤：
A、在清洗干净的基底上沉积一层Ti薄膜，并将所述Ti薄膜放置在NaOH水溶液中反应15-50min，得到具有多孔粗糙结构的Ti薄膜；
B、在所述具有多孔粗糙结构的Ti薄膜上修饰一层氟硅烷，得到超疏水薄膜；
C、采用激光直写技术在所述超疏水薄膜上制作相应的图案，通过所述图案对超疏水薄膜上的微液滴进行操控。
2.根据权利要求1所述的基于激光直写技术的微液滴操控方法，其特征在于，所述步骤C具体包括：
采用激光直写技术在所述超疏水薄膜上制作各向异性的图案，通过各向异性图案化表面的定向驱动力对超疏水薄膜上的微液滴进行驱动。
3.根据权利要求1所述的基于激光直写技术的微液滴操控方法，其特征在于，所述步骤C具体还包括：
采用激光直写技术在所述超疏水薄膜上制作各种不同形状的图案，使超疏水薄膜上的微液滴按照预先制作的图案铺展。
4.根据权利要求3所述的基于激光直写技术的微液滴操控方法，其特征在于，所述图案的形状包括圆形、椭圆形、梯形、五边形、六边形、矩形、三角形和斑块。
5.根据权利要求1所述的基于激光直写技术的微液滴操控方法，其特征在于，所述Ti薄膜的厚度为20-200nm。
6.根据权利要求1所述的基于激光直写技术的微液滴操控方法，其特征在于，所述NaOH水溶液的浓度范围为4-10M。
7.根据权利要求1所述的基于激光直写技术的微液滴操控方法，其特征在于，所述将Ti薄膜放置在NaOH水溶液中反应的温度为50-100℃。
8.根据权利要求1所述的基于激光直写技术的微液滴操控方法，其特征在于，所述基底为硅片或玻璃片中的一种。
9.根据权利要求1所述的基于激光直写技术的微液滴操控方法，其特征在于，所述激光的加工分辨率为100-500nm。
10.根据权利要求1所述的基于激光直写技术的微液滴操控方法，其特征在于，采用磁控溅射法、离子溅射法、电子束蒸发法、热蒸镀法或激光脉冲法中的一种在基底上沉积一层Ti薄膜。
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