[实用新型]一种纳米镀膜设备进料装置

说明书

技术领域

本实用新型属于真空镀膜技术领域，特别涉及一种纳米镀膜设备进料装置。

背景技术

等离子镀膜作为提升材料表面性能有效方法被广泛应用于航空航天、汽车制造、机械重工和五金工具制造等领域。在等离子镀膜时，需要将反应腔室抽真空，然后向反应腔室内通入化学单体和工艺气体。化学单体以液体形式加入与反应腔体连通的容器中，通过对容器加热使容器内的化学单体液体蒸发成气态，由于反应腔室持续抽真空，蒸发的单体蒸汽扩散进入反应腔室。现有纳米镀膜设备单体蒸汽和工艺气体通常从不同入口进入反应腔室，化学单体蒸发容器采用铝合金材质加工，在蒸发容器外贴加热片进行加热，加热速度慢，加热温度精确度低。单体蒸汽向反应腔室扩散速度慢，导致蒸发容器内和连通反应腔室间的管路内蒸汽浓度较高，容易形成聚合物，造成管路堵塞。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服上述不足，提出一种纳米镀膜设备进料装置。

为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：

一种纳米镀膜设备进料装置，包括反应腔室、蒸发容器、电热管、输气管路、工艺气体管路和化学单体进料管。所述输气管路前端与工艺气体管路相连通，后端与反应腔室相连通；所述蒸发容器安装于输气管路内；所述化学单体进料管安装于输气管路和蒸发容器上部，且其下端伸入蒸发容器内部,其上端伸出输气管路外部；所述蒸发容器底部连接有电热管，且电热管伸入蒸发容器底部的U型槽内。

所述化学单体通过化学单体进料管加入蒸发容器内，电热管加热蒸发容器使化学单体液体形成蒸汽，进入与反应腔室连通的输气管路，工艺气体经工艺气体管路也接入输气管路，引导化学单体蒸汽进入反应腔室。

所述反应腔室的容积为50L-1000L，材质为铝合金或不锈钢。

所述蒸发容器直径为20mm-200mm，材质为铜合金、铝合金或不锈钢。

所述电热管功率为10W-200W。

所述输气管路内径为22mm-202mm。

本实用新型的上述技术方案与现有技术相比具有以下优点：

电热管插入蒸发容器内部加热，升温速度快，充分保证单体加热汽化的工作稳定性，加热方式便捷可靠。

利用工艺气体，例如氦气或者氩气等的气流，引导单体蒸汽进入反应腔室，可避免单体蒸汽在蒸发容器内和管路内密度过高，有效降低化学单体在汽化区域聚合的可能性，避免出现管路堵塞，降低设备的维护成本，增加设备量产稳定性。

附图说明

图1是一种纳米镀膜设备进料装置的结构示意图；

图中，1反应腔室；2蒸发容器；3电热管；4输气管路；5工艺气体管路；6化学单体进料管。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例详细说明本实用新型，但本实用新型并不局限于具体实施例。

实施例1

如图1所示，一种纳米镀膜设备进料装置，包括反应腔室1、蒸发容器2、电热管3、输气管路4、工艺气体管路5和化学单体进料管6；所述输气管路前端与工艺气体管路相连通，后端与反应腔室相连通；所述蒸发容器安装于输气管路内；

所述化学单体进料管安装于输气管路和蒸发容器上部，且其下端伸入蒸发容器内部,其上端伸出输气管路外部；所述蒸发容器底部连接有电热管，且电热管伸入蒸发容器底部的U型槽内。

所述化学单体通过化学单体进料管加入蒸发容器内，电热管加热蒸发容器使化学单体液体形成蒸汽，进入与反应腔室连通的输气管路，工艺气体经工艺气体管路也接入输气管路，引导化学单体蒸汽进入反应腔室。

反应腔室1的腔容积为50L，材质为铝合金。

蒸发容器2为圆筒形，且其直径为20mm，材质为铜合金。

电热管3功率为10W。

输气管路4内径为22mm。

实施例2

本实施例中的一种纳米镀膜设备进料装置与实施例1中基本结构相同，其中不同的技术参数是：

反应腔室1的腔容积为300L，材质为不锈钢。

蒸发容器2为圆筒形，且其直径为50mm，材质为铝合金。

电热管3功率为60W。

输气管路4内径为80mm。

实施例3

本实施例中的一种纳米镀膜设备进料装置与实施例1中基本结构相同，其中不同的技术参数是：

反应腔室1的腔容积为700L，材质为不锈钢。

蒸发容器2为圆筒形，且其直径为130mm，材质为不锈钢。

电热管3功率为150W。

输气管路4内径为140mm。