[实用新型]一种硅片的自动收纳机构有效
申请号: | 201720025973.X | 申请日: | 2017-01-10 |
公开(公告)号: | CN206312884U | 公开(公告)日: | 2017-07-07 |
发明(设计)人: | 应小专 | 申请(专利权)人: | 宁波荣升新能源有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/66;H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司33100 | 代理人: | 董世博 |
地址: | 315600 浙江省宁波市宁海县*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 自动 收纳 机构 | ||
1.一种硅片的自动收纳机构,其特征在于包括机身以及设置在机身内的收集框输入组件、收集框输出组件、硅片检测输入组件与机械爪组件,所述的收集框输入组件、硅片检测输入组件水平设置,所述的收集框输入组件位于收集框输出组件的一端且垂直于收集框输出组件,所述的机械爪组件位于收集框输入组件、收集框输出组件、硅片检测输入组件的一端且将其连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片的自动收纳机构,其特征在于所述的收集框输入组件包括第一传送带,所述的收集框输出组件包括第二传送带,所述的第一传送带与第二传送带相交于一端的延长线上,第二传送带的另一端设置有收纳框。
3.根据权利要求1所述的一种硅片的自动收纳机构,其特征在于所述的机械爪组件包括安装在动力装置上的机械爪,所述的机械爪在动力装置的作用下实现上下前后的移动以及机械爪的抓取、松开与翻转。
4.根据权利要求1所述的一种硅片的自动收纳机构,其特征在于所述的硅片检测输入组件包括位于一条直线上的清洗框、检测带与快速运输带,所述的清洗框内设置有用于清洗硅片表面污垢的清洗液,所述的清洗框的底面设置有起推板,所述的起推板的底部与气缸连接,硅片放置在起推板的上方,所述的清洗框的上边沿处设置有推送板与感应器,所述的感应器与推送板、气缸连接。
5.根据权利要求4所述的一种硅片的自动收纳机构,其特征在于所述的检测带上设置有重力检测装置与旋转轴,所述的重力检测装置与控制系统连接,当落在检测带上的硅片不符合控制系统的预设值,检测带将带动硅片朝向清洗框移动,硅片将落入检测带与清洗框之间;当落在检测带上的硅片符合控制系统的预设值,检测带将带动硅片运送到快速运输带上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造