[实用新型]一种用于人工晶体炉的门扣结构

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及人工晶体设备领域，具体涉及一种用于人工晶体炉的门扣结构。

【背景技术】

随着科技的不断进步和发展，人们对人工晶体的需求量也日益增大。以多晶硅为例，多晶硅是生产单晶硅的直接原料，也是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的基础材料。目前生产多晶硅方法有多种，较为常用的是氢还原法；该方法是把提纯好的硅卤化物(四氯化硅或三氯氢硅)和净化好的氢气作为原料通入还原炉，在高温环境中，硅卤化物与氢气发生化学反应，从而生成多晶硅沉积在发热体上。化学反应持续进行，沉积在发热体上的多晶硅越来越多，逐渐将发热体全部覆盖，变成了一根外表包裹着多晶硅的棒状体，俗称硅棒。上述的化学反应是在还原炉中进行的，还原炉是生产多晶硅不可缺少的装置。

多晶硅是一种高纯物质，俗称高纯硅。一般金属纯度达到五个“9”就算高纯度了，可是对多晶硅来说还远远不够，电子工业所用的多晶硅必须是八个“9”到十个“9”。也就是说，在十亿到百亿个硅原子中仅有一个杂质原子。为此，多晶硅的生产需在密闭的、洁净的环境中进行。

使用人工晶体炉生长晶体时，为了控制炉内温度，炉体、炉门内均设有水套，即炉体、炉门均为空心结构，冷却介质通过炉体、炉门的空心部位为晶体炉降温，以防止炉体外壳被烧坏。

加工多晶硅时炉门的密闭程度属于一个关键技术环节。常规晶体材料加工炉的门扣大多由铰接在炉体上的螺杆与炉门的月牙槽扣合，然后由螺杆上的蝶形螺母或直接由螺母旋拧，使炉门与炉体密闭。

CN202090107U公开了一种晶体材料加工炉的门扣结构，其中设置了若干独立的卡块，依靠人工通过旋拧头、旋拧手柄等将门体与炉体锁住。这种方式不仅操作不方便，而且长期使用后容易伤及炉门。

【发明内容】

为了克服背景技术中的不足，实现了快速将炉门锁紧在炉室上、并确保炉门和炉室的连接牢固性和炉门与炉室的密封效果，本实用新型公开了一种新型的用于人工晶体炉的门扣结构。

为了实现所述的发明目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于人工晶体炉的门扣结构，包括若干个锁紧块和两条锁紧拉条。两条锁紧拉条分别设置在炉室边框的两侧面，锁紧块左右对称地间隔设置在两条锁紧拉条上。炉门两侧边分别设有若干凹槽，该凹槽的位置与所述的锁紧块相对应。锁紧面位于每个凹槽的下方，炉门关闭时，锁紧块的一端穿过所述的凹槽抵靠在炉门的锁紧面上，锁紧块的另一端抵靠在炉室的边框上。锁紧拉条向下移动时，锁紧块随之向下移动，依靠锁紧面的斜面将炉门紧锁在炉室上。

为了限制锁紧块的行程，在所述锁紧拉条上每个锁紧块上、下方的位置设有长条形限位孔，每个限位孔卡接在限位销上，所述限位销固定在炉室边框的两侧面上。

为了便于锁紧块的滑动，在锁紧块的两端设有轴承固定轴A和轴承固定轴B，该固定轴上装有轴承，轴承的外圈分别抵靠在炉门的锁紧面上以及炉室的边框上。

在炉室边框靠近轴承处还可以设置向下凹陷的轴承限位槽，对锁紧块进行限位。

所述的锁紧面可以由锁紧平面和锁紧斜面组成，锁紧斜面的一端与所述的凹槽相接，高度较低，锁紧斜面的另一端与锁紧平面相连接，高度较高。

可以依靠人工驱动锁紧拉条上下移动，也可以依靠动力进行驱动。

在本实用新型的一个优选实施例中，在炉室两侧的侧壁上分别设有安装座，用于安装并移动锁紧块，在所述安装座上设有动力源。所述动力源为气缸或液压缸或电动推杆。

所述动力源的动力输出轴与连杆的一端相连接，连杆的另一端连接所述的锁紧拉条，连杆的中部连接支撑座，支撑座固定设置在安装座上，动力输出轴向上移动时带动锁紧拉条向下移动，锁紧块随之下移，将炉门锁紧。

采用上述技术方案，本实用新型的有益效果是：大大提高了人工晶体炉炉门的启闭效率，确保了炉门启闭的可靠性，同时有效避免了对炉门的损害。

【附图说明】

图1是本实用新型人工晶体炉炉体的立体结构示意图；

图2是图1所示人工晶体炉炉体另一侧的立体结构示意图；

图3是本实用新型人工晶体炉炉门的结构示意图；

图4是图3所示炉门左侧凹槽及锁紧面的结构示意图；

图5是本实用新型锁紧块的结构示意图。

图中的标号与部件名称的对应关系是：