[实用新型]一种微型多维传感器

权利要求书

1.一种微型多维传感器，其特征在于，包括：

基底以及设置在基底上的第一绝缘层；

所述第一绝缘层上设置有加热层；

所述加热层上设置有第二绝缘层；

所述第二绝缘层上设置有电极层，所述电极层包括N个相互独立的电极，所述N个相互独立的电极在沿所述电极层的水平方向上依次间隔分布，N≥3；

所述电极层上设置有敏感层，所述敏感层包括N-1个相互独立的敏感膜；所述N-1个相互独立的敏感膜在沿所述敏感层的水平方向上依次间隔分布，且每个敏感膜覆盖在相邻的两个电极之上；

其中，所述N-1个相互独立的敏感膜分别采用不同的敏感材料制备，用于检测不同的气体。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述加热层包括N-1个相互独立的加热器，所述N-1个相互独立的加热器在沿所述加热层的水平方向上依次间隔分布，且N-1个加热器与N-1个敏感膜一一对应。

3.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，每个加热器在水平方向上的长度大于或等于与之对应的敏感膜在水平方向上的长度，且每个敏感膜均位于与之对应的加热器的加热区域内。

4.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述加热器采用白金Pt制备，所述加热器的电阻为5～20欧。

5.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述敏感材料包括氧化石墨烯、ZnO、SnO、ZrO₃、SnO₂、WO₃、CuO和In₂O₃。

6.根据权利要求1或5所述的传感器，其特征在于，所述敏感膜为采用一种敏感材料制成的单层膜。

7.根据权利要求1或5所述的传感器，其特征在于，所述敏感膜采用纳米材料制成，所述敏感膜的形状为纳米线、纳米管、纳米纤维或纳米膜。

8.根据权利要求1或5所述的传感器，其特征在于，所述敏感膜为掺杂敏感膜，所述掺杂敏感膜的掺杂物为石墨烯、碳纳米管、金属氧化物和贵金属中的一种。

9.根据权利要求8所述的传感器，其特征在于，所述掺杂物嵌入在所述敏感膜内或覆盖在所述敏感膜的表面。