[实用新型]一种用于硅芯拉制的吹气装置

权利要求书

1.一种用于硅芯拉制的吹气装置，包括进气管（1）、吹气嘴（6）和吹气孔（11），其特征在于：环绕每一根硅芯设置一个吹气嘴（6），吹气嘴（6）上开设多个吹气孔（11），使从吹气孔（11）吹出的气体沿多个方向均匀吹向每根硅芯。

2.如权利要求1所述的吹气装置，其特征在于：在所述吹气嘴（6）的上游设置一个或多个进气通道，通过连接管（5）将吹气嘴（6）与进气通道相连通，所述的多个进气通道之间通过多个进气孔（15）相互连通，使进入吹气装置的气流在所述的进气通道及吹气嘴（6）内重新分布。

3.如权利要求2所述的吹气装置，其特征在于：所述的进气通道为多个平行叠置的环形通道，冷却气体经进气管（1）进入之后，由第一进气通道（13）进入第二进气通道（14），再经连接管（5）进入第三进气通道（16），后由吹气孔（11）吹向硅芯。

4.如权利要求3所述的吹气装置，其特征在于：第一进气通道（13）和第二进气通道（14）均设置在圆环形的吹气环（4）内，第一进气通道（13）设置在吹气环（4）的上方，第二进气通道（14）设置在吹气环（4）的下方，通过多个进气孔（15）相互连通。

5.如权利要求4所述的吹气装置，其特征在于：所述的若干个吹气嘴（6）设置在吹气环（4）下方，第三进气通道（16）位于吹气嘴（6）内部，通过连接管（5）将其与第二进气通道（14）相连通，吹气孔（11）设置在吹气嘴（6）上，对准硅芯的结晶区。

6.如权利要求4所述的吹气装置，其特征在于：吹气环（4）具有一开口A（8），该开口A（8）与第一进气通道（13）及第二进气通道（14）端部相对应的位置设有排污口，在排污口处设有封堵螺钉（7）。

7.如权利要求4所述的吹气装置，其特征在于：所述吹气环（4）上设有若干个固定柱（3），用于安装导心板。