[实用新型]一种分选机扩张器及分选机

权利要求书

1.一种分选机扩张器，用于固定待分选件，其特征在于，至少包括中间具有孔洞的底座、吸附所述待分选件并环绕孔洞置于底座上的真空环、调整所述待分选件位置并环绕所述真空环置于底座上的数个导正杆组件。

2.根据权利要求1所述的一种分选机扩张器，其特征在于：所述导正杆组件包括滑轨、置于滑轨上的导正杆、以及驱动导正杆沿滑轨移动的第一气缸。

3.根据权利要求2所述的一种分选机扩张器，其特征在于：所述导正杆组件的数目大于等于4。

4.根据权利要求1所述的一种分选机扩张器，其特征在于：所述分选机扩张器还包括与真空环依次连接、使真空环产生真空环境的真空管、真空泵、以及置于真空管上并控制真空泵开关的电磁阀。

5.根据权利要求1所述的一种分选机扩张器，其特征在于：所述真空环为中空结构，上端具有环形的开口，将所述真空环内的空气抽去后，产生真空环境。

6.根据权利要求1所述的一种分选机扩张器，其特征在于：所述待分选件为粘附于蓝膜上并夹持于扩张环内的晶圆。

7.根据权利要求6所述的一种分选机扩张器，其特征在于：所述待分选件的蓝膜吸附于真空环上，使所述晶圆固定于所述扩张器上。

8.根据权利要求6所述的一种分选机扩张器，其特征在于：所述真空环的内径大于所述晶圆的直径、小于所述扩张环的内径。

9.一种分选机，其特征在于，包括权利要求1~8所述的任意一项分选机扩张器。

10.根据权利要求9所述的一种分选机，其特征在于：所述分选机还包括一传送手臂，所述传送手臂上设置有均匀排列的复数个固定卡扣、复数个可移动卡扣、弧形卡槽、第二气缸、以及连接第二气缸和可移动卡扣的连接杆，所述第二气缸通过连接杆驱动可移动卡扣在所述弧形卡槽内移动。