[实用新型]一种分选机扩张器及分选机

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种分选机扩张器及包含该扩张器的分选机。

背景技术

在LED芯粒制造过程中会经过后道分选过程，主要是通过机器将同种等级芯粒自动拾取至同一bin上，而运用到的主要机台为分选机。现有技术中分选前，晶圆粘附于蓝膜上并夹持于扩张环内，扩张环置于铁环内，分选时需通过机械夹爪将铁环移载至晶圆工作台的扩张器上，通过扩张器上下固定片源，从而利于后续的分选操作。但目前的晶圆工作台存在以下两个缺点：

一、在夹爪移动铁环过程中经常由于无法夹取铁环（重量原因），铁环中途脱落或扩张器关闭时铁环松动，导致报警频繁，影响作业；

二、由于扩张器频繁上下运动，经常损坏备件，如扩张器齿轮、铁环、夹料器感应件、夹爪、扩张器弹簧片等。

发明内容

为解决以上问题，本实用新型一方面提供一种分选机扩张器，用于固定待分选件，其特征在于，至少包括中间具有孔洞的底座、吸附所述待分选件并环绕孔洞置于底座上的真空环、调整所述待分选件位置并环绕所述真空环置于底座上的数个导正杆组件。

优选的，所述导正杆组件包括滑轨、置于滑轨上的导正杆、以及驱动导正杆沿滑轨移动的第一气缸。

优选的，所述导正杆组件的数目大于等于4。

优选的，所述分选机扩张器还包括与真空环依次连接、使真空环产生真空环境的真空管、真空泵、以及置于真空管上并控制真空泵开关的电磁阀。

优选的，所述真空环为中空结构，上端具有环形的开口，将所述真空环内的空气抽去后，产生真空环境。

优选的，所述待分选件为粘附于蓝膜上并夹持于扩张环内的晶圆。

优选的，所述待分选件的蓝膜吸附于真空环上，使所述晶圆固定于所述扩张器上。

优选的，所述真空环的内径大于所述晶圆的直径、小于所述扩张环的内径。

另一方面，本实用新型提供一种分选机，其特征在于，包括上述的任意一项分选机扩张器。

优选的，所述分选机还包括一传送手臂，所述传送手臂上设置有均匀排列的复数个固定卡扣、复数个可移动卡扣、弧形卡槽、第二气缸、以及连接第二气缸和可移动卡扣的连接杆，所述第二气缸通过连接杆驱动可移动卡扣在所述弧形卡槽内移动。

本实用新型利用真空环内的真空吸附并固定待分选的晶圆，同时设计一种新型的传送手臂，可以有效省去传统的分选机上的铁环、夹爪、感应器、弹簧片等消耗备件，提高分选机的稳定性和作业效率。

附图说明

图1为本实用新型之扩张器的俯视结构示意图。

图2为图1扩张器及待分选件截面结构示意图。

图3为本实用新型之实施例之待分选件俯视结构示意图。

图4为本实用新型之扩张器和传送手臂俯视结构示意图。

图5为本实用新型之扩张器和传送手臂侧视结构示意图。

附图标注：

10.扩张器；11.底座；111.底座孔洞；12.真空环；121.真空管；122.真空泵；123.电磁阀；13.导正杆组件；131.滑轨；132.导正杆；133.第一气缸；20.待分选件；21.扩张环；22.蓝膜；23.晶圆；30.传送手臂；31.固定卡扣；32.可移动卡扣；33弧形卡槽；34.连杆；35.第二气缸。

具体实施方式

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。