[实用新型]化学品温度冷热交换器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种冷热交换器，更具体的说，它涉及一种化学品温度冷热交换器。

背景技术

在集成电路芯片制造过程中，对芯片所接触化学品温度控制是采用投入式加热器；在工艺槽内放置冷盘管，通过外界冷媒在冷盘管内循环实现控制槽内温度，在工艺槽外放置冷却槽，使冷却槽和工艺槽之间循环达到控制温度的目的，要控制的化学品的洁净度没法做到很好，温度控制精度不高，易造成芯片生产工艺不完整，产品成品率底下，降低了生产效率。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种能够对工艺槽内进行温度控制，避免了工艺槽内出现颗粒沉积污染的情况的化学品温度冷热交换器。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种化学品温度冷热交换器，其包括工艺槽、温控交换槽、循环泵、过滤器、循环管路和能量交换管路，所述工艺槽的出液口与循环泵的进口连接，循环泵的出口连接能量交换管路的一端口，能量交换管路的另一端口连接过滤器的进口端，过滤器的出口端连接工艺槽的进液口，所述能量交换管路设置在温控交换槽内，所述工艺槽、循环泵、能量交换管路和过滤器之间依次均通过循环管路连接。

通过采用上述技术方案，用于芯片加工的化学品注入工艺槽内，通过循环泵的动力使得化学品在循环管路内运行流动，并使得化学品依次在工艺槽、循环泵、能量交换管路、过滤器、工艺槽之间循环流动，并通过温控交换槽与能量交换管路之间的能量交换控制，使得能够控制循环管路内的化学品温度稳定。

本实用新型进一步设置为：所述温控交换槽包括恒温机、能量交换器和控温管路，恒温机的控温段连接控温管路，控温管路连接设置在能量交换器内，恒温机通过控温管路控制能量交换器内的温度变化，所述能量交换管路设置在能量交换器内。

本实用新型进一步设置为：所述能量交换管路为波纹管。

本实用新型进一步设置为：所述循环管路和能量交换管路均由全氟烷氧基树脂制成。

本实用新型进一步设置为：所述循环泵为气动隔膜泵。

本实用新型具有下述优点：通过工艺槽与温控装置之间分离设置，避免了工艺槽内化学品的污染，保障了化学品洁净度，提高了化学品对芯片加工过程中的洁净度，保障了芯片工艺安全，通过波纹管的设置，使得最大面积的冷热交换，缩短了目标温度运行时间，通过循环管路和能量交换管路均由全氟烷氧基树脂制成，使得高纯全氟烷氧基树脂材质管路，可以保障洁净度，通过恒温机的设置，使得能够对温度进行控制，且温度的稳定性越平稳，越有利于芯片上的线路均匀性和良率。

附图说明

图1为本实用新型化学品温度冷热交换器的系统结构图。

图中：1、工艺槽；2、温控交换槽；3、循环泵；4、过滤器；5、循环管路；6、能量交换管路；7、恒温机；8、能量交换器；9、控温管路。

具体实施方式

参照图1所示，本实施例的一种化学品温度冷热交换器，其包括工艺槽1、温控交换槽2、循环泵3、过滤器4、循环管路5和能量交换管路6，所述工艺槽1的出液口与循环泵3的进口连接，循环泵3的出口连接能量交换管路6的一端口，能量交换管路6的另一端口连接过滤器4的进口端，过滤器4的出口端连接工艺槽1的进液口，所述能量交换管路6设置在温控交换槽2内，所述工艺槽1、循环泵3、能量交换管路6和过滤器4之间依次均通过循环管路5连接。

所述温控交换槽2包括恒温机7、能量交换器8和控温管路9，恒温机7的控温段连接控温管路9，控温管路9连接设置在能量交换器8内，恒温机7通过控温管路9控制能量交换器8内的温度变化，所述能量交换管路6设置在能量交换器8内。

所述能量交换管路6为波纹管。

所述循环管路5和能量交换管路6均由全氟烷氧基树脂制成。

所述循环泵3为气动隔膜泵。

通过采用上述技术方案，用于芯片加工的化学品注入工艺槽1内，通过循环泵3的动力使得化学品在循环管路5内运行流动，并使得化学品依次在工艺槽1、循环泵3、能量交换管路6、过滤器4、工艺槽1之间循环流动，并通过温控交换槽2与能量交换管路6之间的能量交换控制，使得能够控制循环管路5内的化学品温度稳定。