[实用新型]一种低压扩散石英舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及光伏板制造设备技术领域，具体为一种低压扩散石英舟。

背景技术

晶体硅太阳能电池板制作工艺包括制绒、扩散、刻蚀、沉积减反射膜、印刷电极等步骤，扩散步骤一般采用石英舟作为承载工具。目前石英舟，通过搁置硅片的上槽棒和下槽棒配合使得硅片固定，而槽棒上的凹槽没有额外固定硅片结构，在推舟机构的将硅片由净化台送入扩散炉过程中容易造成硅片晃动，从而造成硅片碎片、崩边。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种低压扩散石英舟，以解决上述背景技术中提出的问题。所述低压扩散石英舟具有减少了崩边现象，提高了产品质量及合格率的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种低压扩散石英舟，包括一对端板、一对上槽棒以及下槽棒，一对上槽棒安装在一对端板之间的上部同一水平位置，下槽棒安装在一对端板之间的底部，且位于一对上槽棒之间，上槽棒相对的圆周面上均开设有插片槽，该插片槽开口的一端直径大，远离开口的一端直径变小；下槽棒的圆周面上开设有圆心角为θ的固定槽，该固定槽活动连接有固定板，该固定板的一端上翘，另一端与固定槽的表面相吻合，同时还设有凸起。

优选的，所述插片槽开口的一端呈“八”字形，远离开口的一端呈“几”字形或者底面开口的等腰梯形。

优选的，所述固定槽的圆心角θ为60°～87°。

优选的，所述固定板设置为两组，且以圆心角θ的角平分线对称分布，同时底面的中部设有转动部件，并通过转动部件与固定槽转动连接。

所述固定槽圆心角为θ对应的弦长大于硅片的厚度。

优选的，所述转动部件为合页或者两端套设轴套的销轴。

优选的，所述凸起为球形或者最高点呈波纹状。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：(一)通过两个上槽棒开设的插片槽及下槽棒上的固定槽使硅片形成三点定位，使得硅片更加牢固且防止所载硅片晃动；插片槽的开口端直径大，另一端直径小，可以保证硅片的边缘底部两点卡在槽底两边上，而硅片的底部不接触槽底，既防止硅片晃动，又减少硅片与槽底的接触，避免硅片被污染，(二)当硅片插入到固定槽时，硅片底部抵压固定槽上的两个固定板上翘端部，随着插入深度增加，固定板上翘端部被下压，固定板通过转动部件转动，此时通过另一端设置的凸起牢牢卡主硅片，防止所载硅片晃动，由于固定槽弦长比所载硅片厚度大，这样也保证了硅片的底部不接触固定槽的底部，减少硅片与固定槽的接触，避免硅片被污染，(三)插片槽、及固定槽的配合，减少了硅片在扩散工艺中与舟之间的粘结力，进而减少了崩边现象，提高了产品质量及合格率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型放置硅片示意图；

图3为本实用新型上槽棒剖视示意图；

图4为本实用新型上槽棒插入硅片后俯视示意图；

图5为本实用新型下槽棒俯视示意图；

图6为本实用新型硅片未完全进入到固定槽内示意图；

图7为本实用新型硅片完全进入到固定槽内示意图。

图中：1端板、2上槽棒、20插片槽、3下槽棒、30固定槽、31固定板、32凸起、33转动部件、4硅片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-7，本实用新型提供一种技术方案：

一种低压扩散石英舟，包括一对端板1、一对上槽棒2以及下槽棒3，一对上槽棒2安装在一对端板1之间的上部同一水平位置，下槽棒3安装在一对端板1之间的底部，且位于一对上槽棒2之间，上槽棒2相对的圆周面上均开设有插片槽20，该插片槽20开口的一端直径大，远离开口的一端直径变小，可以保证硅片4的边缘底部两点卡在槽底两边上，而硅片4的底部不接触槽底，既防止硅片4晃动，又减少硅片4与槽底的接触；下槽棒3的圆周面上开设有圆心角为θ的固定槽30，该固定槽30活动连接有固定板31，该固定板31的一端上翘，另一端与固定槽30的表面相吻合，同时还设有凸起32。

插片槽20开口的一端呈“八”字形，远离开口的一端呈“几”字形或者底面开口的等腰梯形。

固定槽30的圆心角θ为60°～87°。