[实用新型]一种空腔型声表面波谐振器及滤波器有效
| 申请号： | 201720484077.X | 申请日： | 2017-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN207053474U | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 王国浩;张树民;陈海龙;汪泉 | 申请（专利权）人： | 王国浩 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/25;H03H3/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 200441 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 表面波 谐振器 滤波器 | ||
【权利要求书】：
1.一种空腔型声表面波谐振器，其特征在于：所述声表面波谐振器包括压电材料基板、形成在所述压电材料基板上的金属叉指结构、形成在所述压电材料基板下方的空腔结构。
2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于：还包括基片，所述空腔结构形成在所述基片上。
3.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于：所述压电材料基板未完全覆盖所述空腔结构。
4.根据权利要求3所述的声表面波谐振器，其特征在于：所述压电材料基板具有露出空腔的开口部分。
5.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于：所述空腔结构中沉积有牺牲层。
6.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于：所述金属叉指结构的材料为铜、铝、铬、银或钛。
7.根据权利要求1或6所述的声表面波谐振器，其特征在于：所述金属叉指结构的厚度为50nm-1μm。
8.一种滤波器，包括权利要求1-7任一项所述的声表面波谐振器。
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