[实用新型]一种研磨液中央供应系统有效
| 申请号： | 201720487908.9 | 申请日： | 2017-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN207223702U | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 李春;黄荣燕 | 申请（专利权）人： | 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 青岛高晓专利事务所(普通合伙)37104 | 代理人： | 黄晓敏 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 中央 供应 系统 | ||
1.一种研磨液中央供应系统，其特征在于，包括通过管路顺次连接的：
一原料液供应装置，包括第一出料管路和第一回路；
一研磨液混合装置，包括第二出料管路和第二回路；
一研磨液供应装置，包括第三出料管路和第三回路；
若干化学机械研磨站，所述化学机械研磨站通过所述第三出料管路并联设置；
所述第一出料管路和所述第一回路分别连接所述原料液供应装置和所述研磨液混合装置，所述第二出料管路和所述第二回路分别连接所述研磨液混合装置和所述研磨液供应装置，所述第三出料管路与所述第三回路相连通而形成完整回路；所述的原料液供应装置的容积为1L。
2.根据权利要求1所述的一种研磨液中央供应系统，其特征在于，所述第一出料管路通过研磨液测量槽连接于所述研磨液混合装置。
3.根据权利要求1所述的一种研磨液中央供应系统，其特征在于，所述第二出料管路分别通过比重测量装置和pH测量装置连接于所述研磨液供应装置。
4.根据权利要求1所述的一种研磨液中央供应系统，其特征在于，所述研磨液混合装置还包括有去离子水测量槽和化学制品测量槽。
5.根据权利要求1所述的一种研磨液中央供应系统，其特征在于，所述第三出料管路通过至少一个泵体连接于所述化学机械研磨站。
6.根据权利要求1所述的一种研磨液中央供应系统，其特征在于，所述研磨液供应装置还包括去离子水加入槽和氮气加入槽。
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