[实用新型]一种晶圆板体载具

权利要求书

1.一种晶圆板体载具，包括载具架，其特征在于：所述载具架包括分别设置在两侧的金属侧板，所述金属侧板之间自上至下分布有金属隔层，相邻的两个所述金属隔层之间设置有载盘，所述载盘通过转轴安装在一侧的所述金属侧板上，所述金属侧板、金属隔层、载盘、转轴的表面分别涂有防静电涂层，所述金属侧板的下部设有接地插口。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆板体载具，其特征在于：所述载盘呈直角扇形。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆板体载具，其特征在于：所述载盘的上表面上设有限位点。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆板体载具，其特征在于：所述限位点至少设有三个。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆板体载具，其特征在于：所述载盘的前端设有金属拉手，所述金属拉手上涂有防静电涂层。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆板体载具，其特征在于：两个所述金属侧板之间的上端和下端分别设有连接杆。