[实用新型]石墨盘收集装置有效
申请号: | 201721175348.X | 申请日: | 2017-09-13 |
公开(公告)号: | CN207116386U | 公开(公告)日: | 2018-03-16 |
发明(设计)人: | 向军 | 申请(专利权)人: | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/673 |
代理公司: | 常州市权航专利代理有限公司32280 | 代理人: | 袁兴隆 |
地址: | 214000 江苏省无锡市滨湖区隐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 收集 装置 | ||
1.一种石墨盘收集装置,包括托盘(1)和石墨盘匣(2),所述托盘(1)上放置有石墨盘,其特征在于:还包括水平导轨(3)、水平滑块(4)和水平电机(5),所述水平导轨(3)水平固定设置,其一侧设置所述石墨盘匣(2),另一侧设置有水平推杆(6);所述水平滑块(4)安装在所述水平导轨(3)上,所述水平导轨(3)在所述水平电机(5)的驱动下转动并能驱动所述水平滑块(4)沿水平导轨(3)运动,所述托盘(1)固定设置在所述水平滑块(4)上;所述水平推杆(6)正对于所述石墨盘匣(2),所述石墨盘匣(2)面对于所述水平推杆(6)的一侧敞开,所述水平推杆(6)的高度与所述托盘(1)上的石墨盘的高度相等。
2.如权利要求1所述的石墨盘收集装置,其特征在于:所述石墨盘收集装置还包括竖直导轨(7)、竖直滑块(8)和竖直电机(9),所述竖直导轨(7)固定设置,所述竖直滑块(8)安装在所述竖直导轨(7)上,所述竖直导轨(7)在所述竖直电机(9)的驱动下转动并能驱动所述竖直滑块(8)沿竖直方向运动,所述石墨盘匣(2)固定设置在所述竖直滑块(8)上。
3.如权利要求2所述的石墨盘收集装置,其特征在于:所述石墨盘收集装置还包括气动线性滑台(10),所述气动线性滑台(10)的滑轨竖直固定设置,所述水平推杆(6)固定设置在所述气动线性滑台(10)的滑台上。
4.如权利要求3所述的石墨盘收集装置,其特征在于:所述石墨盘匣(2)的内腔水平设置有若干个滑槽(11),所述滑槽(11)面对于所述水平推杆(6)的一侧敞开并且所述滑槽(11)的长度方向与所述水平推杆(6)的伸出方向平行设置。
5.如权利要求4所述的石墨盘收集装置,其特征在于:所述石墨盘收集装置还设置有气缸(12),所述气缸(12)的缸体固定设置在托盘(1)上,所述气缸(12)的活塞杆上设置有定位销(13),所述定位销(13)可插入所述托盘(1)上的石墨盘中。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造