[实用新型]精密超声打孔机

权利要求书

1.精密超声打孔机，包括机架、导轨、滑块、超声振动系统、工具头和进给系统；该导轨沿Z轴固设在机架，该滑块滑接在导轨上，该进给系统连接滑块以能带动滑块沿Z轴滑动；该工具头装接在超声振动系统上；其特征在于：还包括角度调节装置和位移传感器；该角度调节装置至少包括X轴角度微动台和Y轴角度微动台，该X轴角度微动台能绕X轴转动地装接在滑块，该Y轴角度微动台能绕Y轴转动地装接在X轴角度微动台，该超声振动系统装接在Y轴角度微动台，通过角度调节装置能调节超声振动系统的角度，能调节工具头的角度；该位移传感器装接在机架上用于检测工具头移动前后位移传感器的两次测量值之差及工具头沿导轨的进给量，依据两次测量值之差及进给量并通过角度调节装置对工具头角度进行调整。

2.根据权利要求1所述的精密超声打孔机，其特征在于：该位移传感器采用激光位移传感器。

3.根据权利要求1所述的精密超声打孔机，其特征在于：该机架包括机床主体和机床底座，该机床主体固接在机床底座上，该导轨固接在机床主体上，该位移传感器通过夹具固定于机床底座上，该位移传感器的探测方向平行于X轴或Y轴。

4.根据权利要求1所述的精密超声打孔机，其特征在于：该机架包括机床主体和机床底座，该机床主体固接在机床底座上，该导轨固接在机床主体上；配设有两套上述的位移传感器，该两套位移传感器都通过夹具固定于机床底座上，且该两套位移传感器的探测方向分别平行于X轴或Y轴。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的精密超声打孔机，其特征在于：还包括处理器和角度驱动系统，该角度驱动系统传动连接X轴角度微动台和Y轴角度微动台以能带动X轴角度微动台、Y轴角度微动台转动；该处理器信号连接位移传感器和角度驱动系统。