[实用新型]掩膜板有效

专利信息
申请号: 201721684631.5 申请日: 2017-12-06
公开(公告)号: CN207572404U 公开(公告)日: 2018-07-03
发明(设计)人: 农艳菲;龚建国;王衣可;冉应刚;吴俊雄;柯贤军;苏君海;李建华 申请(专利权)人: 信利(惠州)智能显示有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L51/00;C23C14/04
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 叶剑
地址: 516029 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 磨砂层 识别码 掩膜 掩膜基板 掩膜板 影响生产效率 摩擦力作用 表面设置 光线集中 框架连接 框架设置 使用寿命 漫反射 读码 刻蚀 喷涂 蒸镀 反射 磨损 开口 失败
【权利要求书】:

1.一种掩膜板,其特征在于,包括掩膜框架和掩膜基板,所述掩膜基板与所述掩膜框架连接,所述掩膜基板上开设有多个蒸镀开口;

所述掩膜框架设置有识别部,所述识别部的表面设置有磨砂层,所述磨砂层上设置有识别码。

2.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述掩膜框架凹陷设置有识别槽,所述识别部设置于所述识别槽内。

3.根据权利要求1或2所述的掩膜板,其特征在于,所述掩膜框架还设置有挡光部,所述挡光部绕设于所述识别部的外侧。

4.根据权利要求3所述的掩膜板,其特征在于,所述挡光部凸起于所述掩膜框架表面的厚度大于所述识别部凸起于所述掩膜框架的表面的厚度。

5.根据权利要求4所述的掩膜板,其特征在于,所述挡光部具有矩形截面。

6.根据权利要求4所述的掩膜板,其特征在于,所述挡光部具有方形截面。

7.根据权利要求4所述的掩膜板,其特征在于,所述挡光部具有圆环形截面。

8.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述识别部具有矩形截面。

9.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述识别部具有方形截面。

10.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述识别部具有圆形截面。

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