[实用新型]掩膜板有效
申请号: | 201721684631.5 | 申请日: | 2017-12-06 |
公开(公告)号: | CN207572404U | 公开(公告)日: | 2018-07-03 |
发明(设计)人: | 农艳菲;龚建国;王衣可;冉应刚;吴俊雄;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请(专利权)人: | 信利(惠州)智能显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/00;C23C14/04 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 叶剑 |
地址: | 516029 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磨砂层 识别码 掩膜 掩膜基板 掩膜板 影响生产效率 摩擦力作用 表面设置 光线集中 框架连接 框架设置 使用寿命 漫反射 读码 刻蚀 喷涂 蒸镀 反射 磨损 开口 失败 | ||
本实用新型涉及一种掩膜板,包括:掩膜框架和掩膜基板,所述掩膜基板与所述掩膜框架连接,所述掩膜基板上开设有多个蒸镀开口;所述掩膜框架设置有识别部,所述识别部的表面设置有磨砂层,所述磨砂层上设置有识别码。例如,所述识别码喷涂设置于所述磨砂层上。通过在刻蚀识别码的识别部上设置磨砂层,从而使得光线在磨砂层上产生漫反射,避免光线集中反射,使得识别码易于识别,避免读码失败,且磨砂层在摩擦力作用下不易磨损,从而提高了掩膜板的使用寿命,并且使得识别码能够长时间使用而清晰可见,有效提高了掩膜板的识别效率,避免影响生产效率。
技术领域
本实用新型涉及有机发光显示制造技术领域,特别是涉及用于OLED蒸镀的掩膜板。
背景技术
AMOLED(Active Martix OLED,主动矩阵有机发光二极管)在制备过程采用蒸镀的方式将材料蒸镀至基板上,以制备得到AMOLED。蒸镀需要采用掩膜板进行。
掩模板包括掩膜框架和掩膜基板,掩膜框架用于支撑掩膜基板,每个掩膜框架都有唯一的编码信息,保证在生产中有序使用,因此对掩膜框架编码进行管理是十分有必要的。目前的编码方式是在掩模版框架上采用激光刻蚀的方式制作二维码,但由于二维码在扫码器光照下反光强烈,与周围区域对比度小,容易造成读码失败,此外,由于掩膜框架长期使用,受到摩擦力的作用下表面变得光滑,导致二维码图像不清晰,导致不利于掩膜框架的识别。上述的问题导致掩膜框架难以识别,进而使得掩膜板在使用中可能存在无法区分的缺陷,影响生产效率。
实用新型内容
基于此,有必要提供一种掩膜板。
一种掩膜板,包括:掩膜框架和掩膜基板,所述掩膜基板与所述掩膜框架连接,所述掩膜基板上开设有多个蒸镀开口;
所述掩膜框架设置有识别部,所述识别部的表面设置有磨砂层,所述磨砂层上设置有识别码。
在其中一个实施例中,所述掩膜框架凹陷设置有识别槽,所述识别部设置于所述识别槽内。
3、根据权利要求1或2所述的掩膜板,其特征在于,所述掩膜框架还设置有挡光部,所述挡光部绕设于所述识别部的外侧。
在其中一个实施例中,所述挡光部凸起于所述掩膜框架表面的厚度大于所述识别部凸起于所述掩膜框架的表面的厚度。
在其中一个实施例中,所述挡光部具有矩形截面。
在其中一个实施例中,所述挡光部具有方形截面。
在其中一个实施例中,所述挡光部具有圆环形截面。
在其中一个实施例中,所述识别部具有矩形截面。
在其中一个实施例中,所述识别部具有方形截面。
在其中一个实施例中,所述识别部具有圆形截面。
上述掩膜板,通过在刻蚀识别码的识别部上设置磨砂层,从而使得光线在磨砂层上产生漫反射,避免光线集中反射,使得识别码易于识别,避免读码失败,且磨砂层在摩擦力作用下不易磨损,从而提高了掩膜板的使用寿命,并且使得识别码能够长时间使用而清晰可见,有效提高了掩膜板的识别效率,避免影响生产效率。
附图说明
图1为一个实施例的掩膜板的一方向结构示意图;
图2为一个实施例的掩膜框架的局部剖面结构示意图;
图3为另一个实施例的掩膜框架的局部剖面结构示意图;
图4为又一个实施例的掩膜框架的局部剖面结构示意图。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择