[发明专利]半导体引线接合机器清洁装置和方法在审
| 申请号： | 201780002273.1 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN109155287A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | A.E.汉弗莱;W.C.史密斯;J.施夫拉尔;B.A.汉弗莱 | 申请（专利权）人： | 国际测试技术公司 |
| 主分类号： | H01L23/00 | 分类号： | H01L23/00;B23K20/00;B23K20/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;郑冀之 |
| 地址： | 美国内*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体引线 半导体装配 接合机器 清洁材料 清洁衬垫 清洁装置 设备组件 预定特性 自动装配 可预测 毛细管 中间层 清洁 | ||
1.一种用于清洁引线接合机器的方法，包括：
把连接到引线接合机器的毛细管定位得靠近弹性清洁材料；以及
在毛细管保持附着到引线接合机器的同时，把毛细管插入到弹性清洁材料中使得毛细管的末端穿透弹性清洁材料，所述弹性清洁材料从毛细管移除碎屑。
2.根据权利要求1所述的方法，还包括当毛细管被定位在清洁材料上方时使得惰性气体穿过毛细管以把毛细管内部的碎屑推到弹性清洁材料中。
3.根据权利要求1所述的方法，还包括把弹性清洁材料移动得邻近于引线接合机器的毛细管。
4.根据权利要求1所述的方法，还包括把碎屑捕获在弹性清洁材料内。
5.根据权利要求1所述的方法，其中，定位弹性清洁材料还包括定位具有交联聚合物层的弹性清洁装置。
6.根据权利要求1所述的方法，其中，定位弹性清洁材料还包括定位具有交联聚合物层以及具有预定特性的一个或多个中间层的弹性清洁装置。
7.根据权利要求1所述的方法，其中，定位弹性清洁材料还包括在从毛细管移除碎屑时使用处置器来定位弹性清洁材料，并且还包括在引线接合过程期间使用处置器来移动多个半导体装置。
8.根据权利要求1所述的方法，还包括把弹性清洁材料附着到载体。
9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述载体是引线接合机器清洁块和引线接合机器清洁衬垫之一，并且其中定位毛细管还包括把具有毛细管的引线接合机器的头部移动到引线接合机器清洁块和引线接合机器清洁衬垫之一的附近。
10.一种用于操作引线接合机器的方法，包括：
使用毛细管和穿过毛细管的引线执行多个引线接合操作；以及
在毛细管保持附着到引线接合机器的同时，把毛细管周期性地插入到弹性清洁材料中，使得毛细管的末端穿透弹性清洁材料，所述弹性清洁材料从毛细管移除碎屑。
11.根据权利要求10所述的方法，还包括当毛细管被定位在清洁材料上方时使得惰性气体穿过毛细管以把毛细管内部的碎屑推到弹性清洁材料中。
12.根据权利要求10所述的方法，还包括把弹性清洁材料移动得邻近于引线接合机器的毛细管。
13.根据权利要求10所述的方法，还包括把碎屑捕获在弹性清洁材料内。
14.根据权利要求12所述的方法，其中，移动弹性清洁材料还包括定位具有交联聚合物层的弹性清洁装置。
15.根据权利要求12所述的方法，其中，移动弹性清洁材料还包括定位具有交联聚合物层以及具有预定特性的一个或多个中间层的弹性清洁装置。
16.根据权利要求12所述的方法，其中，移动弹性清洁材料还包括在从毛细管移除碎屑时使用处置器来定位弹性清洁材料，并且还包括在引线接合过程期间使用处置器来移动多个半导体装置。
17.根据权利要求10所述的方法，还包括把弹性清洁材料附着到载体。
18.根据权利要求17所述的方法，其中，所述载体是引线接合机器清洁块和引线接合机器清洁衬垫之一，并且所述方法还包括把具有毛细管的引线接合机器的头部移动到引线接合机器清洁块和引线接合机器清洁衬垫之一的附近。
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