[发明专利]通电加热接合用夹具及使用其的通电加热接合装置

权利要求书

1.一种通电加热接合用夹具，其在将被接合部件彼此以接合面进行接合的通电加热接合中用于对该接合面进行加热，所述通电加热接合用夹具的特征在于，具备：

抵接部件，其具有与所述被接合部件抵接的抵接面；以及

加热部件，其包括具有能够装卸所述抵接部件的装卸部的发热电阻部件、以及一对电极，能够通过在该电极间通电来加热所述发热电阻部件。

2.根据权利要求1所述的通电加热接合用夹具，其特征在于：

所述抵接部件以能够与所述装卸部紧贴的方式形成。

3.根据权利要求1或2所述的通电加热接合用夹具，其特征在于：

所述抵接部件具有能够与所述被接合部件紧贴的形状。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的通电加热接合用夹具，其特征在于，具备冷却部件，所述冷却部件用于冷却所述电极和所述发热电阻部件中的任一方或双方。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的通电加热接合用夹具，其特征在于，具备温度传感器，所述温度传感器检测所述被接合部件的接合面附近的温度。

6.一种通电加热接合装置，其通过将多个被接合部件以接合面抵接，并对该接合面进行加压且进行加热来接合所述多个被结合部件，所述通电加热接合装置的特征在于，具备：

权利要求1至5中任一项所述的通电加热接合用夹具；

电源，其向所述通电加热接合用夹具的电极供给电流；以及

加压部，其利用所述接合面按压所述被接合部件彼此。

7.根据权利要求6所述的通电加热接合装置，其特征在于，具备压力传感器，所述压力传感器检测所述接合面的压力。

8.根据权利要求6或7所述的通电加热接合装置，其特征在于，具备控制部，所述控制部对所述接合面的温度和/或压力进行控制。