[发明专利]圆盘状玻璃及其制造方法

权利要求书

1.一种圆盘状玻璃的制造方法，该圆盘状玻璃用于加工基板的支承，其特征在于，

所述圆盘状玻璃的制造方法包括：

热处理工序，在该热处理工序中，在将玻璃板从室温加热至在退火点-50℃～退火点+80℃的范围内预先设定的峰值温度之后对该玻璃板进行冷却；

圆形切断工序，在该圆形切断工序中，从所述玻璃板切出圆盘状玻璃；以及

切口形成工序，在该切口形成工序中，在所述圆盘状玻璃板的端部形成切口部。

2.根据权利要求1所述的圆盘状玻璃的制造方法，其特征在于，

所述热处理工序包括：

升温步骤，在该升温步骤中，以+1℃/min～+16℃/min的速度从室温升温至所述峰值温度；

保持步骤，在该保持步骤中，在所述升温步骤之后，以所述峰值温度-10℃～所述峰值温度的范围内的保持温度保持0～120分钟；以及

降温步骤，在该降温步骤中，在所述保持步骤之后，在从所述保持温度至所述玻璃板的应变点-50℃为止的温度区域内以-6.0℃/min～-0.3℃/min的速度进行降温。

3.根据权利要求2所述的圆盘状玻璃的制造方法，其特征在于，

所述降温步骤包括：

第一降温步骤，在该第一降温步骤中，在从所述保持温度至所述玻璃板的应变点-50℃为止的温度区域内以-3.0℃/min～-0.3℃/min的速度进行降温；以及

第二降温步骤，在该第二降温步骤中，在应变点-50℃以下的温度区域内以-5.8℃/min～-1.1℃/min的速度进行降温。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的圆盘状玻璃的制造方法，其特征在于，

在所述热处理工序中，在沿所述玻璃板的板厚方向施加负载的状态下进行热处理。

5.根据权利要求4所述的圆盘状玻璃的制造方法，其特征在于，

将多个所述玻璃板以相互间夹有脱模件的方式层叠，

在最上层载置有挤压构件的状态下进行所述热处理工序的所述热处理。

6.根据权利要求5所述的圆盘状玻璃的制造方法，其特征在于，

在多个所述玻璃板的最下层还配置支承构件，

使所述挤压构件以及所述支承构件各自的与所述玻璃板接触的接触面大于所述玻璃板的主表面。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的圆盘状玻璃的制造方法，其特征在于，

在所述热处理工序之后且在所述切断工序之前以及之后中的任一者，还具备对所述玻璃板的两个主表面进行研磨的研磨工序，

在所述研磨中，另一方主表面的研磨量相对于一方主表面的研磨量处于0.8倍～1.2倍的范围内。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的圆盘状玻璃的制造方法，其特征在于，

在所述热处理工序后进行所述圆形切断工序，

在所述圆形切断工序后进行所述切口形成工序。

9.一种通过权利要求1至8中任一项所述的圆盘状玻璃的制造方法制造的圆盘状玻璃，其特征在于，

弯度为200μm以下，并且主表面的中心处的应力和与端面相距100mm的位置处的主表面的应力之差为0～10MPa。

10.根据权利要求9所述的圆盘状玻璃，其特征在于，

在将半径设为r的情况下，在与中心相距0.8r以内的区域中呈碗形状，其中，r的单位为mm。

11.根据权利要求10所述的圆盘状玻璃，其特征在于，

在使用时成为上表面的主表面具有识别标识，

在形成有所述识别标识的主表面侧具有凹陷的所述碗形状。

12.根据权利要求9所述的圆盘状玻璃，其特征在于，所述圆盘状玻璃呈鞍形状。