[发明专利]泄漏检查辅助装置及使用了该装置的泄漏检查方法

权利要求书

1.一种泄漏检查辅助装置，在作业室中进行过滤器的泄漏检查时使用，所述作业室在顶棚壁面或侧壁面设有一个或者多个所述过滤器而在所述作业室与外部环境之间进行清洁空气的供气或者排气，

所述泄漏检查辅助装置的特征在于，

具有直接或间接地载置于所述作业室的地面上的投影装置，所述投影装置具有的投影修正单元通过以使从所述投影装置的投影窗向所述过滤器的表面投影的投影图像的扫描线的外周部轮廓的各角部移动至所述过滤器的外周部轮廓的各角部的位置的方式修正位置关系而成为所述投影图像示出的扫描线的外周部轮廓与所述过滤器的外周部轮廓相匹配而被投影的状态，

所述投影装置将附属于进行泄漏检查的泄漏检查装置的吸引探测器的吸引点以沿着所述过滤器的表面在相互正交的X-Y轴方向上以恒定的间隔及恒定的速度移动的方式基于所述位置关系的修正而修正所述吸引点的移动速度并投影于所述过滤器的表面，并且将由附属于所述泄漏检查装置的微粒检测器检测出的泄漏信息投影于所述过滤器的表面。

2.一种泄漏检查辅助装置，在作业室中进行过滤器的泄漏检查时使用，所述作业室在顶棚壁面或侧壁面设有一个或者多个所述过滤器而在所述作业室与外部环境之间进行清洁空气的供气或者排气，

所述泄漏检查辅助装置的特征在于，

具有直接或间接地载置于所述作业室的地面上的投影装置、过滤器位置检测装置及信息处理装置，

所述过滤器位置检测装置检测从所述投影装置的投影窗至所述过滤器的外周部轮廓的各角部的位置为止的距离及其垂直方向角和水平方向角作为位置关系，

所述信息处理装置根据检测出的所述位置关系计算出从所述投影装置的投影窗至所述过滤器的外周部轮廓的各角部的位置为止的方向和距离，并对投影图像示出的扫描线的外周部轮廓进行修正而成为所述投影图像示出的扫描线的外周部轮廓与所述过滤器的外周部轮廓相匹配而被投影的状态，

所述投影装置将附属于进行泄漏检查的泄漏检查装置的吸引探测器的吸引点以沿着所述过滤器的表面在相互正交的X-Y轴方向上以恒定的间隔及恒定的速度移动的方式基于所述外周部轮廓的修正而修正所述吸引点的移动速度并投影于所述过滤器的表面，并且将由附属于所述泄漏检查装置的微粒检测器检测出的泄漏信息投影于所述过滤器的表面。

3.根据权利要求1或2所述的泄漏检查辅助装置，其特征在于，

将所述微粒检测器检测出的泄漏信息作为检测出的微粒的数量而实时地投影于所述过滤器的表面，并且在该检测出的微粒的数量超过预定的基准的情况下发出异常警告。

4.一种泄漏检查方法，在作业室中使用泄漏检查装置进行过滤器的泄漏检查，所述作业室在顶棚壁面或侧壁面设有一个或者多个所述过滤器而在所述作业室与外部环境之间进行清洁空气的供气或者排气，

所述泄漏检查方法的特征在于，

所述泄漏检查装置具有微粒检测器及与该微粒检测器连接的吸引探测器，

在使用该吸引探测器扫描所述过滤器的表面时，使用权利要求1至3中任一项所述的泄漏检查辅助装置，

从而使所述吸引探测器以追踪吸引点的方式进行扫描，所述吸引点以沿着所述过滤器的表面在相互正交的X-Y轴方向上以恒定的间隔及恒定的速度移动的方式被投影。