[发明专利]泄漏检查辅助装置及使用了该装置的泄漏检查方法

说明书

提供泄漏检查辅助装置及使用了该装置的泄漏检查方法，能够在无尘室内的过滤器的泄漏检查时，使用通常的泄漏检查装置，无需扫描机器人、大型的装置及附带工程等，因此费用负担较小且能够由较少的作业者进行准确的泄漏检查。具有投影装置，将附属于进行泄漏检查的泄漏检查装置的吸引探测器的吸引点以沿着过滤器的表面在相互正交的X‑Y轴方向上以恒定的间隔及恒定的速度移动的方式投影于无尘室内的过滤器的表面，作业者根据吸引点的运动而使吸引探测器进行扫描。

技术领域

本发明涉及在对设置于无尘室等清洁环境中的空气净化用过滤器进行泄漏检查时与泄漏检查装置一起使用的泄漏检查辅助装置。另外，本发明涉及使用了该泄漏检查辅助装置的泄漏检查方法。

背景技术

在清洁的环境气中实施的作业、例如医药品的制造阶段的作业或者半导体或电子元件的制造阶段的作业中，在将内部保持为无尘、无菌状态的清洁的作业环境中实施作业，以避免污染物质从外部环境进入。作为这样的作业环境，一般使用无尘室。在该无尘室内，由身着无尘服的作业者实施作业。

从空气供给装置经由HEPA过滤器或ULPA过滤器等(以下都简称为“过滤器”)而向该无尘室的内部供给清洁空气。由此，无尘室的内部保证医药品制造等所要求的A级(厚生劳动省无菌医药品制造方针)或者依照于此的清洁度。为了维持上述清洁度，定期对设置于无尘室内的过滤器实施泄漏检查。

一般而言，泄漏检查是在过滤器的上游侧投入含有PAO(聚α烯烃)等微粒的气雾剂，在过滤器的下游侧利用泄漏检查装置对漏泄(以下称为“泄漏”)了的微粒进行检测。该泄漏检查装置具备捕捉微粒的吸引探测器和对捕捉到的微粒进行检测的颗粒计数器等微粒检测器。实际的泄漏检查作业由一个作业者用手保持吸引探测器，沿着过滤器面在X-Y轴方向上扫描。与此配合，由其他作业者确认微粒检测器的微粒检测和检测数(参照图3)。并且，在微粒检测器检测出了微粒时，由正在确认微粒检测器的作业者向使吸引探测器进行扫描的作业者发信号。并且，再次确认该部分，而确定出过滤器的泄漏部位。

在这样的泄漏检查的方向上，难以将吸引探测器的扫描速度和扫描间隔维持成恒定，因此也很有可能在泄漏检查的精度上产生偏差而没看出来泄漏。另外，作业者需要至少两人或者两人以上的人数，从而成为由多人实施的大型的作业。对此，在下述专利文献1中提出了在过滤器的下游侧配置有使吸引探测器以恒定速度沿X-Y轴方向移动的扫描机器人的自动泄漏测试装置。另外，在下述专利文献2中提出了对下述专利文献1的自动泄漏测试装置进行了改进发展的泄漏检查装置。此外，在下述专利文献3及下述专利文献4中，还提出了在无尘室的整个顶棚面预先固定有扫描机器人的泄漏检查系统及自动泄漏试验系统。

现有技术文献

专利文献1：日本特开昭59-010831号公报

专利文献2：日本特开2001-108606号公报

专利文献3：日本特开2005-300263号公报

专利文献4：日本特开2014-219135号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在上述专利文献1及专利文献2中提出的自动泄漏测试装置及泄漏检查装置中，都能将扫描速度和扫描间隔维持成恒定。另外，具有能够由操作扫描机器人的一个作业者进行应对的优点。但是，需要预先准备扫描机器人，费用负担较大。另外，需要根据进行泄漏检查的无尘室的过滤器的位置、尺寸来进行设计或调整。另外，在泄漏检查时，需要进行向无尘室内的各过滤器配置扫描机器人的作业。

另外，在上述专利文献3及专利文献4中提出的泄漏检查系统及自动泄漏试验系统中，在整个顶棚面预先固定有扫描装置，因此无需在泄漏检查时实施向无尘室内的各过滤器配置扫描机器人的作业。但是，上述系统需要大型的装置和无尘室内的附带工程，致使费用负担进一步增大。